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Aurion Anlagentechnik
德國AurionAnlagentechnikGmbH www.aurion.deAurion公司生產、銷售使用等離子體處理技術和無線射頻元件進行表面處理和表面涂層的設備。使用的等離子技術包括:●RIE(活性離子蝕刻)清潔和活化技術;微波下游的等離子技術●PVD(物理蒸汽沉積,擴散)涂層技術;PECVD(等離子體增強化學蒸氣沉積)技術●大氣等離子活化技術除了成套的系統與元件外,Aurion公司還可以 在等離子與無線電頻率技術方面提供咨詢服務,并進行人員培訓。在提供標準表面處理系統的同時,Aurion還為有特殊要求的客戶提供定制服務,例如:根據客戶特殊需求提供整套解決方案。Aurion的等離子系統目前應用于以下行業:●半導體●醫藥技術●光學●汽車行業Auriondeliverssystemsfortreatmentandcoatingofsurfacesbymeansofplasmaprocessesaswellasradiofrequencycomponents.Plasmatechnologiesemployedare:●CleaningandactivationwithRIE(ReactiveIonEtching)andMicrowavedownstreamplasma●CoatingwithPVD(PhysicalVapourDeposition,Sputtering)andPECVD(PlasmaEnhancedChemicalVapourDeposition)●ActivationwithatmosphericplasmaApartfromsystemsandcomponentsAurionoffersitsexpertiseintheareaof
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