概述

SWPHF系列濺射薄膜式壓力變送器部件是SAABWELL與英國Senstronics（勝斯特）公司合作研發(fā)的濺射薄膜壓力敏感膜片，與擴(kuò)散硅壓力敏感元件相比，該元件工作溫度范圍寬得多；另外由于膜片厚度大且沒有填充傳壓介質(zhì)，所以，對惡劣外界環(huán)境的耐受能力更強(qiáng)。該壓力變送器是專門為使用環(huán)境惡劣，且要求體積和重量小的應(yīng)用場合設(shè)計(jì)的。該系列產(chǎn)品量程齊全，電氣和機(jī)械接口形式多樣，適用于航空、航天、、電力和石油等行業(yè)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

壓力敏感元件采用濺射工藝，在壓力介質(zhì)直接作用的17-4PH不銹鋼膜片上，以分子鍵合的方式制作出“微米”級的電阻膜。再¾­過微電子工藝制作出需要的惠斯登電橋，組成全金屬型敏感元件，無任何粘貼劑和活動(dòng)件，無需密封腔和充油腔，因此具有適用惡劣環(huán)境和長期穩(wěn)定性工作的特點(diǎn)。

產(chǎn)品使用17-4PH不銹鋼材料，其量程從5bar（0.5MPa）到2200bar（220MPa）。

產(chǎn)品能¾­受106次的連續(xù)壓力作用。

使用薄膜壓力的敏感元件制成的產(chǎn)品，在溫度環(huán)境下的優(yōu)于0.01%FS℃。

傳感器系列產(chǎn)品和變送器系列產(chǎn)品在設(shè)計(jì)上考慮到滿足嚴(yán)格的電磁兼容條件，全部按照EN61000-2和EN61000-3標(biāo)準(zhǔn)，¾­受至少100v/m的電磁考驗(yàn)。

產(chǎn)品專用的ASIC電路給予特別的設(shè)計(jì)，以限度發(fā)揮薄膜傳感技術(shù)的潛能來滿足不同用戶的使用要求。

產(chǎn)品能提供0～5V（三線制）； 0.5～4.5V（三線制）；4～20mA（兩線制）輸出。

工作原­理

濺射式壓力敏感元件是在10級超凈間內(nèi)，通過微電子工藝制造出來的。即在高真空度中，利用磁控技術(shù)，將絕緣材料、電阻材料以分子形式淀積在彈性不銹鋼膜片上，形成分子鍵合的絕緣薄膜和電阻材料薄膜，并與彈性不銹鋼膜片融合為一體。再¾­過光刻、調(diào)阻，溫度補(bǔ)償?shù)裙ば?，在彈性不銹鋼膜片表面上形成牢固而穩(wěn)定的惠斯頓電橋。當(dāng)被測介質(zhì)壓力作用于彈性不銹鋼膜片時(shí)，位于另一面的惠斯頓電橋則產(chǎn)生正比于壓力的電輸出信號。將此信號¾­放大調(diào)節(jié)等處理。再配以適當(dāng)?shù)慕Y(jié)構(gòu)，就成為應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域中的壓力傳感器和壓力變送器。


 

技術(shù)參數(shù)