概述

SWPHF系列濺射薄膜式壓力變送器部件是SAABWELL與英國Senstronics（勝斯特）公司合作研發的濺射薄膜壓力敏感膜片，與擴散硅壓力敏感元件相比，該元件工作溫度范圍寬得多；另外由于膜片厚度大且沒有填充傳壓介質，所以，對惡劣外界環境的耐受能力更強。該壓力變送器是專門為使用環境惡劣，且要求體積和重量小的應用場合設計的。該系列產品量程齊全，電氣和機械接口形式多樣，適用于航空、航天、、電力和石油等行業。

產品特點

壓力敏感元件采用濺射工藝，在壓力介質直接作用的17-4PH不銹鋼膜片上，以分子鍵合的方式制作出“微米”級的電阻膜。再¾­過微電子工藝制作出需要的惠斯登電橋，組成全金屬型敏感元件，無任何粘貼劑和活動件，無需密封腔和充油腔，因此具有適用惡劣環境和長期穩定性工作的特點。

產品使用17-4PH不銹鋼材料，其量程從5bar（0.5MPa）到2200bar（220MPa）。

產品能¾­受106次的連續壓力作用。

使用薄膜壓力的敏感元件制成的產品，在溫度環境下的優于0.01%FS℃。

傳感器系列產品和變送器系列產品在設計上考慮到滿足嚴格的電磁兼容條件，全部按照EN61000-2和EN61000-3標準，¾­受至少100v/m的電磁考驗。

產品專用的ASIC電路給予特別的設計，以限度發揮薄膜傳感技術的潛能來滿足不同用戶的使用要求。

產品能提供0～5V（三線制）； 0.5～4.5V（三線制）；4～20mA（兩線制）輸出。

工作原­理

濺射式壓力敏感元件是在10級超凈間內，通過微電子工藝制造出來的。即在高真空度中，利用磁控技術，將絕緣材料、電阻材料以分子形式淀積在彈性不銹鋼膜片上，形成分子鍵合的絕緣薄膜和電阻材料薄膜，并與彈性不銹鋼膜片融合為一體。再¾­過光刻、調阻，溫度補償等工序，在彈性不銹鋼膜片表面上形成牢固而穩定的惠斯頓電橋。當被測介質壓力作用于彈性不銹鋼膜片時，位于另一面的惠斯頓電橋則產生正比于壓力的電輸出信號。將此信號¾­放大調節等處理。再配以適當的結構，就成為應用于各個領域中的壓力傳感器和壓力變送器。


 

技術參數