ZLS-26D/T型系列氦質譜檢漏儀是全功能氦質譜檢漏儀，有普通配置型、也有計算機控制配置型，有單口型、也有雙口型，采用德國萊寶渦輪分子泵作主排氣機，輔助系統采用英國愛德華機械泵排氣，啟動快（不到五分鐘即可使用）。儀器可以在測試口壓強近似大氣時，采用逆擴散方式進行檢漏，也可以在測試口壓強為50Pa以下時采用常規方式進行檢漏；用常規方式檢漏時，可以在分流狀態下檢較大的漏隙（測試口壓強在50～1 Pa），也可以在不分流狀態下檢微小的漏隙（測試口壓強在10-1Pa以下）。儀器測量范圍可達2×10-1～2×10-12 Pa·m3/s。儀器采用光柱和數碼管直接顯示漏率（也可以通過筆記本電腦控制并顯示），且可按需要選用適當的漏率單位（儀器已給出四種常用單位Pa·m3/s、Torr·L/s、mbar·l/s、atm·cc/s）,讀數方便,儀器有音響報警裝置，報警點可以任意設定，使用方便。本儀器適用于工廠車間和實驗室對各種零部件作噴氦法（真空檢漏法）、吸氦法（壓力檢漏發）、背壓法檢漏。
技術參數：
儀器的啟動時間： 不大于5min
小可檢漏率：優于5×10E-12Pa～m3/s (空氣）
反應時間： 不大3s
質譜室允許工作的壓強：1×10E-2Pa
測試口允許工作的壓強：1000Pa
檢漏自動切換點（檢漏點）可調范國：40～10-1Pa
儀器的輪廓尺寸： 640*550*980 mm3
儀器的重量： 約75Kg
主要配置：
渦輪分子泵（德國萊寶50型）
前級泵（美國瓦里安WS42型）
粗抽泵（英國愛德華RV12型）
校準漏孔（有計量校驗證書）
質譜分析室（成都儀器廠）
控制電路（成都儀器廠）
儀器的使用條件
境溫度：＋5℃～＋35℃
環境相對濕度：50～80％
供電電源：220V＋22V，功率約為1.5Kw
儀器附近無強電磁場干擾
主要特點：
1.機內采用進口渦輪分子泵作主排氣機。
2.啟動快（少于五分鐘即可使用）。
3.采用光柱和數碼管直接顯示漏率。
4.四種常用單位顯示，讀數方便.