儀器簡介：
技術參數：
主要配置：
渦輪分子泵（德國萊寶50型）
前級泵（美國瓦里安DS42型）
粗抽泵（英國愛德華RV12型）
校準漏孔 1只（有計量校驗證書）
質譜分析室 1套（成都儀器廠）
控制電路 1套（成都儀器廠）
工控計算機 1臺（研華牌）
噴槍、吸槍各一套
主要特點：
ZLS-26D/M 型氦質譜檢漏儀是成都儀器廠開發的新一代氦質譜檢漏儀器。
儀器采用計算機程序控制，通過觸摸式顯示屏按人機對話方式進行功能操作，具有檢漏方式程序控制、檢漏數據存儲、分析、統計、打印及自動尋峰等功能，具備高度的智能化程度。
技術參數：
1.微機系統控制
2.12寸觸摸式液晶顯示屏，大字符漏率顯示，漏率直讀，四種常用漏率單位轉換
3.自動掃描氦峰，具有圖形顯示和保存功能
4.動態清除本底
5.不同工件檢漏曲線顯示
6.檢漏數據保存和打印功能
7.聲訊報警，報警點可程序設置
主要技術參數：
1.儀器小可檢漏率：優于5*10E-12Pam3/s
2.儀器可檢漏率：2×10E-1Pam3/s
3.儀器的反應時間： 不大3s
4.儀器質譜室允許工作的壓強：1×10E-2Pa
5.儀器測試口允許工作的壓強：1000Pa
6.背壓法檢漏時間可調范圍：5～30s
7.儀器的啟動時間： 不大于5min
8.儀器的輪廓尺寸： 640×550×980 mm3
9.儀器的重量： 約75Kg
10.儀器使用電源：220V±10％，50Hz
主要配置：
渦輪分子泵（德國萊寶50型）
前級泵（美國瓦里安DS42型）
粗抽泵（英國愛德華RV12型）
校準漏孔 1只（有計量校驗證書）
質譜分析室 1套（成都儀器廠）
控制電路 1套（成都儀器廠）
工控計算機 1臺（研華牌）
噴槍、吸槍各一套
主要特點：
1.微機系統控制 ，
2.12寸觸摸式液晶顯示屏，大字符漏率顯示，漏率直讀，四種常用漏率單位轉換
3.自動掃描氦峰，具有圖形顯示和保存功能
4.動態清除本底
5.不同工件檢漏曲線顯示及記錄
6.檢漏數據保存和打印功能
7.聲訊報警，報警點可程序設置