產(chǎn)品介紹：P-5 X鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)
P-50X鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)具有P-5等離子體表面改性處理儀所有功能，但它具有更大的鋁質(zhì)腔體：203毫米寬x  203毫米深D X 102毫米高，為專門等離子處理較大工件設(shè)計(jì)。鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)專門用于小型生產(chǎn)企業(yè)、研發(fā)實(shí)驗(yàn)室、檢測機(jī)構(gòu)和科研院校。
鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)縱覽
該鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)專門用于小型生產(chǎn)企業(yè)、研發(fā)實(shí)驗(yàn)室、檢測機(jī)構(gòu)和科研院校。鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)采用了防暴式203毫米寬x  203毫米深D X 102毫米高矩形鋁合金真空艙，并設(shè)置直接供電的射頻(RF)電極。 應(yīng)用范圍包括醫(yī)療設(shè)備、太陽能電池、印刷電路板、連接器、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）、納米技術(shù)、晶圓級(jí)封裝、以及許多其他相關(guān)的半導(dǎo)體工藝。
鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)特點(diǎn)
正如所有鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)，P-X5采用電容耦合（CCP）平行電極板設(shè)計(jì)，從而有效的產(chǎn)生等離子體。

與傳統(tǒng)玻璃/石英圓筒艙不同的是，這些競爭設(shè)備不能穿透真空艙，因此被限制只能使用感應(yīng)耦合的RF線圈纏在腔室的外部。 這是設(shè)置一種低效率方式，導(dǎo)致輸入功率損失及相當(dāng)?shù)偷奈g刻/清潔去除速率。
P-5X鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)是由美國制造的部件組裝而成，我們提供的鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)客戶服務(wù)和支持。
鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)規(guī)格
標(biāo)準(zhǔn)鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)配置
鋁合金真空艙尺寸：203毫米寬x  203毫米深D X 102毫米高
電極設(shè)置：單套 254毫米 X 127毫米 水平電極
射頻電源：125瓦@ 50 kHz 射頻電源
工藝氣體控制：精密針形閥流量控制0-25 CC /分鐘
真空監(jiān)測系統(tǒng)：皮拉尼真空計(jì)0-1托
真空系統(tǒng)：5的CFM真空泵（可與氧氣等活性氣體適配）
工藝存儲(chǔ)：單處理順序
可選配鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)配置
射頻電源：射頻電源和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)
燈條
質(zhì)量流量控制器（MFC）
鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)機(jī)電信息
電源： 220VAC，50Hz@ 14A
鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)重量：25公斤
鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)配套真空泵重量：16公斤
鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)占地尺寸：356毫米X 356毫米X 457毫米
鋁質(zhì)腔體等離子清洗機(jī)配套真空泵占地尺寸：178毫米 X 406毫米

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