小流量氣體質(zhì)量流量傳感器-FSG4000系列
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　　一、小流量氣體質(zhì)量流量傳感器-FSG4000系列主要特性：
　　1）傳感器靈敏度高，有小的始動(dòng)流量
　　2）傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，了傳感器的高計(jì)量
　　3）在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使傳感器的量程比大大
　　4）傳感器的點(diǎn)穩(wěn)定度高
　　5）全量程高穩(wěn)定性
　　6）全量程高度和優(yōu)良的重復(fù)性
　　7）低功耗
　　8）低壓損
　　9）響應(yīng)時(shí)間快
　　二、小流量氣體質(zhì)量流量傳感器-FSG4000系列典型應(yīng)用：
　　適用于小流量氣體質(zhì)量的流量測(cè)量。
　　
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