Formtracer
表面粗糙度、輪廓形狀一體機(jī)
Formtracer Extreme (表面粗糙度/輪廓測(cè)量裝置)
SV-C3000CNC / SV-C4000CNC
525系列 — 表面粗糙度/形狀測(cè)量?jī)x
特點(diǎn)
? 高CNC表面粗糙度／形狀測(cè)量?jī)x，
一機(jī)二用：可進(jìn)行表面粗糙度和形狀／輪
廓測(cè)量。
? 每軸驅(qū)動(dòng)速度可達(dá)200mm/秒，實(shí)現(xiàn)
定位，滿足多輪廓／多工件的測(cè)量
任務(wù)。
? 帶 a 軸的機(jī)型可通過(guò)電動(dòng)傾斜檢出器，
對(duì)水平和傾斜表面進(jìn)行連續(xù)測(cè)量。
? 帶Y軸工作臺(tái)的機(jī)型可通過(guò)Y軸軸向定
位，擴(kuò)大測(cè)量任務(wù)的范圍，如多工件任
務(wù)等。
? SV-C4000CNC系列的輪廓驅(qū)動(dòng)器配備激
光全息光柵尺，可寬／窄范圍測(cè)量
和 Z1軸分辨率。
? 通過(guò)同時(shí)控制X1軸和Z2軸的方向，可
實(shí)現(xiàn)傾斜平面的測(cè)量。
? 通過(guò)簡(jiǎn)單的性操作，可更換形狀／輪
廓測(cè)量裝置與表面粗糙度測(cè)量裝置，并
且，不對(duì)連接電纜重新布線。
? 由于Z1軸檢出器內(nèi)置了撞器，當(dāng)檢出
器主體即將碰撞工件或夾具時(shí)，檢出器
將自動(dòng)停機(jī)。
? 配有易于操作的遙控箱 ：通過(guò)兩個(gè)操縱
桿，選定需要操作的軸，即可實(shí)現(xiàn)任何
移動(dòng)。鍵上端的軸向圖標(biāo)易于辨認(rèn)，輕
松操作。
? 通過(guò)U與數(shù)據(jù)處理／分析器通信。
基本技術(shù)參數(shù):
基座尺寸 (W x D):
750 x 600mm
基座材料:
花崗巖
重量:
240kg, 250kg (高立柱型)
電源:
100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗:
500W (主機(jī))
輪廓測(cè)量技術(shù)參數(shù):
X1軸
測(cè)量范圍:
200mm
分辨率:
0.05μm
檢測(cè)方法:
反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:
200mm/s (CNC)
0 - 60mm/s (操縱桿)
測(cè)量速度:
0.02 - 2mm/s
移動(dòng)方向:
向前／向后
直線度:
2μm/200mm
*以X1軸為水平方向上
指示 (20oC時(shí)):
±(1+4/200)μm(SV-C3000CNC)
±(0.8+4L/200)μm(SV-C3000CNC)
傾角:
-45o - +10o
分辨率:
0.000225o
旋轉(zhuǎn)速度:
1rpm
Z2軸 (立柱)
垂直移動(dòng):
300mm 或 500mm
分辨率:
0.05μm
檢測(cè)方法:
反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:
200mm/s (CNC)
0 - 60mm/s (操縱桿)
Z1軸 (檢出器)
測(cè)量范圍:
±25mm
分辨率:
0.2μm (SV-C3000CNC),
0.05μm (SV-C4000CNC)
檢測(cè)方法:
線性編碼器 (SV-C3000CNC),
激光全息測(cè)微計(jì) (SV-C4000CNC)
直線位移:
±(2+|4H|/100)μm(SV-C3000CNC)
(20oC時(shí))
± (0.8+I0.5HI/25)μm (SV-C4000CNC)
*H: 為基于水平位置的測(cè)量高度 (mm)
測(cè)針運(yùn)作:
弧形移動(dòng)
測(cè)針?lè)较?
向下
測(cè)力:
30mN
跟蹤角度:
向上: 70o, 向下: 70o
(使用配置的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭， 依表面粗
糙度而定)
測(cè)針針尖
半徑: 25μm, 硬質(zhì)合金
表面粗糙度測(cè)量的技術(shù)參數(shù):
X1軸
測(cè)量范圍:
200mm
分辨率:
0.05μm
檢測(cè)方法:
反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:
200mm/s (CNC)
0 - 60mm/s (操縱桿)
測(cè)量速度:
0.02 - 2mm/s
直線度:
0.5μm / 200mm
a 軸
傾角:
-45o - +10o
分辨率:
0.000225o
旋轉(zhuǎn)速度:
1rpm
Z2軸 (立柱)
垂直移動(dòng):
300mm 或 500mm
分辨率:
0.05μm
檢測(cè)方法:
反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:
200mm/s (CNC)
0 - 60mm/s (操縱桿)
檢出器 (選件)
范圍／分辨率:
800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用測(cè)針選件時(shí)，
可達(dá)2400μm)
測(cè)力:
4mN 或 0.75mN (低測(cè)力型)
測(cè)針針尖:
金剛石, 90o / 5μmR
(60o / 2μmR: 低測(cè)力型)
檢測(cè)方法:
差動(dòng)電感式
表面粗糙度、輪廓形狀一體機(jī)
Formtracer Extreme (表面粗糙度/輪廓測(cè)量裝置)
SV-C3000CNC / SV-C4000CNC
525系列 — 表面粗糙度/形狀測(cè)量?jī)x
特點(diǎn)
? 高CNC表面粗糙度／形狀測(cè)量?jī)x，
一機(jī)二用：可進(jìn)行表面粗糙度和形狀／輪
廓測(cè)量。
? 每軸驅(qū)動(dòng)速度可達(dá)200mm/秒，實(shí)現(xiàn)
定位，滿足多輪廓／多工件的測(cè)量
任務(wù)。
? 帶 a 軸的機(jī)型可通過(guò)電動(dòng)傾斜檢出器，
對(duì)水平和傾斜表面進(jìn)行連續(xù)測(cè)量。
? 帶Y軸工作臺(tái)的機(jī)型可通過(guò)Y軸軸向定
位，擴(kuò)大測(cè)量任務(wù)的范圍，如多工件任
務(wù)等。
? SV-C4000CNC系列的輪廓驅(qū)動(dòng)器配備激
光全息光柵尺，可寬／窄范圍測(cè)量
和 Z1軸分辨率。
? 通過(guò)同時(shí)控制X1軸和Z2軸的方向，可
實(shí)現(xiàn)傾斜平面的測(cè)量。
? 通過(guò)簡(jiǎn)單的性操作，可更換形狀／輪
廓測(cè)量裝置與表面粗糙度測(cè)量裝置，并
且，不對(duì)連接電纜重新布線。
? 由于Z1軸檢出器內(nèi)置了撞器，當(dāng)檢出
器主體即將碰撞工件或夾具時(shí)，檢出器
將自動(dòng)停機(jī)。
? 配有易于操作的遙控箱 ：通過(guò)兩個(gè)操縱
桿，選定需要操作的軸，即可實(shí)現(xiàn)任何
移動(dòng)。鍵上端的軸向圖標(biāo)易于辨認(rèn)，輕
松操作。
? 通過(guò)U與數(shù)據(jù)處理／分析器通信。
基本技術(shù)參數(shù):
基座尺寸 (W x D):
750 x 600mm
基座材料:
花崗巖
重量:
240kg, 250kg (高立柱型)
電源:
100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗:
500W (主機(jī))
輪廓測(cè)量技術(shù)參數(shù):
X1軸
測(cè)量范圍:
200mm
分辨率:
0.05μm
檢測(cè)方法:
反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:
200mm/s (CNC)
0 - 60mm/s (操縱桿)
測(cè)量速度:
0.02 - 2mm/s
移動(dòng)方向:
向前／向后
直線度:
2μm/200mm
*以X1軸為水平方向上
指示 (20oC時(shí)):
±(1+4/200)μm(SV-C3000CNC)
±(0.8+4L/200)μm(SV-C3000CNC)
傾角:
-45o - +10o
分辨率:
0.000225o
旋轉(zhuǎn)速度:
1rpm
Z2軸 (立柱)
垂直移動(dòng):
300mm 或 500mm
分辨率:
0.05μm
檢測(cè)方法:
反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:
200mm/s (CNC)
0 - 60mm/s (操縱桿)
Z1軸 (檢出器)
測(cè)量范圍:
±25mm
分辨率:
0.2μm (SV-C3000CNC),
0.05μm (SV-C4000CNC)
檢測(cè)方法:
線性編碼器 (SV-C3000CNC),
激光全息測(cè)微計(jì) (SV-C4000CNC)
直線位移:
±(2+|4H|/100)μm(SV-C3000CNC)
(20oC時(shí))
± (0.8+I0.5HI/25)μm (SV-C4000CNC)
*H: 為基于水平位置的測(cè)量高度 (mm)
測(cè)針運(yùn)作:
弧形移動(dòng)
測(cè)針?lè)较?
向下
測(cè)力:
30mN
跟蹤角度:
向上: 70o, 向下: 70o
(使用配置的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭， 依表面粗
糙度而定)
測(cè)針針尖
半徑: 25μm, 硬質(zhì)合金
表面粗糙度測(cè)量的技術(shù)參數(shù):
X1軸
測(cè)量范圍:
200mm
分辨率:
0.05μm
檢測(cè)方法:
反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:
200mm/s (CNC)
0 - 60mm/s (操縱桿)
測(cè)量速度:
0.02 - 2mm/s
直線度:
0.5μm / 200mm
a 軸
傾角:
-45o - +10o
分辨率:
0.000225o
旋轉(zhuǎn)速度:
1rpm
Z2軸 (立柱)
垂直移動(dòng):
300mm 或 500mm
分辨率:
0.05μm
檢測(cè)方法:
反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:
200mm/s (CNC)
0 - 60mm/s (操縱桿)
檢出器 (選件)
范圍／分辨率:
800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用測(cè)針選件時(shí)，
可達(dá)2400μm)
測(cè)力:
4mN 或 0.75mN (低測(cè)力型)
測(cè)針針尖:
金剛石, 90o / 5μmR
(60o / 2μmR: 低測(cè)力型)
檢測(cè)方法:
差動(dòng)電感式
