性能參數
型號 1010C 2010C 2017C 3017C
貨號MF-A 176-662* 176-663* 176-664* 176-665*
貨號MF-B 176-682* 176-683* 176-684* 176-685*
XY工作臺行程范圍 100*100mm 200*100mm 200*170mm 300*170mm
Z軸移動范圍 150mm 150mm 220mm 220mm
調焦方式 手動調焦（粗調焦：30mm/rev.，微調焦：0.2mm/rev.）
測量方法 線性編碼器（2軸型：X/Y軸，3軸型：X/Y/Z軸）
分辯率（可轉換） 0.001mm/0.0005mm/0.0001mm
測量（20℃時） XY軸：（2.5＋0.02L）um，L為無負載測量長度（mm），JI7153
指示（20℃時） Z軸：（5＋0.04L）um，L為測量長度（mm）
XY工作臺臺面尺寸 280*280mm 350*280mm 410*342mm 510*342mm
載物玻璃尺寸 180*180mm 250*150mm 270*240mm 370*240mm
旋轉功能 — — ±5°（左） ±5°（左）
臺面承重 10kg 20kg 20kg 20kg
工件高度 150mm 150mm 220mm 220mm
型號 1010C 2010C 2017C 3017C
貨號MF-A 176-662* 176-663* 176-664* 176-665*
貨號MF-B 176-682* 176-683* 176-684* 176-685*
XY工作臺行程范圍 100*100mm 200*100mm 200*170mm 300*170mm
Z軸移動范圍 150mm 150mm 220mm 220mm
調焦方式 手動調焦（粗調焦：30mm/rev.，微調焦：0.2mm/rev.）
測量方法 線性編碼器（2軸型：X/Y軸，3軸型：X/Y/Z軸）
分辯率（可轉換） 0.001mm/0.0005mm/0.0001mm
測量（20℃時） XY軸：（2.5＋0.02L）um，L為無負載測量長度（mm），JI7153
指示（20℃時） Z軸：（5＋0.04L）um，L為測量長度（mm）
XY工作臺臺面尺寸 280*280mm 350*280mm 410*342mm 510*342mm
載物玻璃尺寸 180*180mm 250*150mm 270*240mm 370*240mm
旋轉功能 — — ±5°（左） ±5°（左）
臺面承重 10kg 20kg 20kg 20kg
工件高度 150mm 150mm 220mm 220mm
