本公司COL－系列烘箱系用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤，強制送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到溫度控制。
技術參數：
1.百級烤箱型號：COL-2
2.烘箱工作尺寸（mm）：W600×H600×D500
3.溫度范圍：RT＋60℃～300℃
4.烤箱潔凈度：100級；
5.溫度均勻性：±1.5%
6.波動度：±0.5℃
7.電源：380V 50Hz 7.5KW；
8.箱體材料：外箱采用 SS41＃中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層光面涂裝烤漆，可微塵（PARTICLE），內室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼，保溫材料：細玻璃棉；
9.空氣循環裝置：大容量軸流電機；
10.加熱方式：不銹鋼電加熱器；
11.溫度測量傳感器：Pt100鉑電阻；
12.控制儀表：數顯溫度控制器，PID調節，控制0.1℃；
13.溫保護儀表：于工作室主控制的溫保護系統，試驗品的；
14.控制系統：主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等元氣件；
15.排氣口：ф50；
16.隔板：2層，不銹鋼方通，承重約30KG.
技術參數：
1.百級烤箱型號：COL-2
2.烘箱工作尺寸（mm）：W600×H600×D500
3.溫度范圍：RT＋60℃～300℃
4.烤箱潔凈度：100級；
5.溫度均勻性：±1.5%
6.波動度：±0.5℃
7.電源：380V 50Hz 7.5KW；
8.箱體材料：外箱采用 SS41＃中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層光面涂裝烤漆，可微塵（PARTICLE），內室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼，保溫材料：細玻璃棉；
9.空氣循環裝置：大容量軸流電機；
10.加熱方式：不銹鋼電加熱器；
11.溫度測量傳感器：Pt100鉑電阻；
12.控制儀表：數顯溫度控制器，PID調節，控制0.1℃；
13.溫保護儀表：于工作室主控制的溫保護系統，試驗品的；
14.控制系統：主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等元氣件；
15.排氣口：ф50；
16.隔板：2層，不銹鋼方通，承重約30KG.
