美國維易科(veeco)精密儀器有限公司(納斯達克上市公司,代碼:veco)是的精密測量儀器和工藝設備制造商。公司的主要品牌有:di掃描探針顯微鏡、dektak探針輪廓儀、wyko光學輪廓儀、nexus離子束沉積系統、turbodisc金屬化學汽相沉積、veeco分子束外延系統。
Dektak XT 臺階儀是Dektak150型升級版,Veeco公司2007年正式推出的新型探針式表面輪廓儀(臺階儀)產品,主要應用于薄膜厚度測量、樣品表面形貌測量、薄膜應力測量、樣品表面粗糙度/波紋度測量、以及樣品表面三維形貌測量等眾多領域。
Dektak XT出眾的測量、準確的測試功能、的性價比
接觸式測量模式—業內品牌
銷量》10000臺,中國銷量》250臺
中國大學、研究所》100臺
中國太陽能客戶銷量》30臺
中國LED客戶銷量》30臺
技術參數:拱形設計—系統更穩定
掃描長度:55mm
垂直測量范圍:1mm(標準)
臺階高度重現性5?,1在1um臺階上
垂直分辨率:1?(6.55um范圍)
探針壓力:1-15mg
探針曲率半徑:0.2-25um
細探針50nm
樣品臺尺寸:150mm-200mm
可360°旋轉,手動、自動可選
樣品厚度:50mm
主要特點:
1.臺階高度測量的高重復性
2.基于精密加工光學參考平面的樣品臺,在長距離掃描中基線的穩定性
3.出色的易用性、易維護性
4.的樣品適用性
5.高分辨率的粗糙度測量
6.大的軟件分析系統
7.三維表面形貌測量的功能可升級性
8.廣泛的應用領域,客戶涵蓋大學、研究所、工業領域(太陽能、LED、觸摸屏、半導體、鍍膜等多領域)
具體型號及技術要求歡迎來電咨詢。








