


1、 設備簡介:TEX-218G擴膜機是將切割后的Wafer連同膜向X-Y方向均一擴伸的設備。 有助于半導體芯片制造的省時省力。
擴張臺溫度 常溫~80℃可調
聯動裝置
膜提示燈不點亮時無法上升擴張臺
膜提示燈無論擴張臺在什么位置皆可點亮
尺寸 400(W)×690(D)×350(H)/mm
重量 35KG
3、 動力 氣源 0.3~0.4MPa(φ6快速接頭)
1、功能:
在半導體集成電路芯片制作中的切割制程后,將切割/分割后的芯片背面所貼的膜用擴張環固定,利用工作臺的上升,使膜向X-Y方向均勻擴張,從而帶動芯片擴張至任意間隔,大大方便了芯片切割/分割制程后的處理。
2、原理:
晶圓擴膜機是用于切割制程之后,將膜均勻拉伸,從而使切割后的芯片分離,并均勻拉開距離的設備。采用伺服電機的擴膜方式,擴膜高度及速度可在配置的觸摸屏中參數化進行設置。
3、用途:
從晶圓上切割出半導體集成電路芯片的切割制程之后,芯片和芯片之間的縫隙很小,會導致芯片和芯片之間碰撞產生崩邊,造成浪費。
擴膜機可以簡單快速地將切割后的芯片向X-Y方向擴張,芯片之間的間距均勻地到所需的尺寸,將芯片分離,避免芯片與芯片碰撞損傷從而得到完好的集成電路芯片。帶加熱且溫度可調的工作臺設計,可令擴膜效果更好,且可大大擴膜高度,以滿足不同的客戶需求。擴膜高度可調。護膜速度可調。工作臺溫度可調。
設備適用于IC、Diode、Transistor、Gl、LED、QFN、PCB等產業,適用于半導體集成電路芯片制作中切割制程后的擴張或拉伸工藝。











