Park原子力顯微鏡
Park Systems擁有世界上（納米尺度）可供研究和工業(yè)應(yīng)用的顯微鏡和測量工具產(chǎn)品線。我們的技術(shù)，如True-Non ContactTM模式和前沿的自動化讓我們的產(chǎn)品從競爭中脫穎而出，成為容易使用和的原子力顯微鏡。
制造商簡介
Park Systems長期致力于推進新興的納米顯微鏡和計量技術(shù)。
執(zhí)行官兼人Sang-∥ Park博士是初的斯坦福大學(xué)原子力顯微鏡技術(shù)的開發(fā)團隊的一員，該團隊在1980年代早期開發(fā)了原子力顯微鏡技術(shù)，并為現(xiàn)今的技術(shù)發(fā)展鋪平了道路。隨著技術(shù)的不斷進步，Park博士
敏銳地認識到原子力顯微鏡技術(shù)的大并在1997年創(chuàng)立了世界上個商業(yè)化原子力顯微鏡公司Park Scientific Instruments和隨后的Park Systems，從而將這種而復(fù)雜的納米成像和計量技術(shù)推向了更廣闊的市場。2015年12月，Park Systems次公開上市招股，并加入KOSDAQ綜合指數(shù)。
公司致力于將世界上的納米測量和成像技術(shù)推向更加廣闊的市場。如今，我們的產(chǎn)品被科技行業(yè)的者廣泛使用，幫助他們科技，開發(fā)優(yōu)異的產(chǎn)品，并產(chǎn)率。
技術(shù)
True Non-Contact模式原子力顯微鏡
Park原子力顯微鏡的True Non-ContactTM模式，該模式使得針尖保持尖銳并不破壞樣品表面，為用戶多次測量提供保障。這使得掃描更好、更準確，并減少了所需的維護。
啟動True Non-ContactTM模式時，壓電調(diào)制器使懸臂在一個接近其固有頻率的頻率上小振幅振動。當探針接近樣品時，針尖和樣品之間的范德華引力會影響懸臂振動的振幅和相位。Park原子力顯微鏡的Z-servo反饋系統(tǒng)會監(jiān)測到這些變化，并使針尖和樣品之間的距離保持在幾納米，從而保護樣品表面或探針不被破壞。
優(yōu)點
減少針尖磨損從而保持長時間的高分辨率
非破壞性針尖和樣品的相互作用能夠更好地保護樣品
參數(shù)對成像結(jié)果影響較小
架構(gòu)
Park原子力顯微鏡的一大特點就是采用鉸鏈分離式XY和Z架構(gòu)和快速Z掃描儀，從而提供無扭曲平面掃描，非接觸式技術(shù)，擁有動態(tài)控制Z平臺的力-距離分光鏡，和世界上的可供3D測量的旋轉(zhuǎn)頭。
更高的線性度使掃描更加
分離式無背景曲率XY和Z掃描儀可控制外平面運動
Park原子力顯微鏡的一大特點是采用分離式無背景曲率的XY和Z掃描儀，以降低外平面運動誤差至每100微米小于2nm。
更好的響應(yīng)性使用戶可以觀測到更多
相比壓電管掃描儀，我們的XY掃描儀均有的驅(qū)動軸，可以為每個方向提供更好的響應(yīng)性，使用戶可以看到每一處細節(jié)。
Park SmartScan的1,2,3點擊成像
在這個被復(fù)雜和設(shè)計欠缺的用戶界面占據(jù)主導(dǎo)的行業(yè)，Park Systems自豪的出一套強大且易于操作的系統(tǒng)。我們的Park Systems操作系統(tǒng)，可以自動化許多研究人員和工程師的日常工作，顯著實驗室和工業(yè)環(huán)境的效率，從而使更多的高技術(shù)人員能夠?qū)⑺麄兊囊恍┕ぷ鬓D(zhuǎn)移給經(jīng)驗較少的用戶。
Park SmartScan自動化并通過每一步成像過程引導(dǎo)用戶。用戶將樣品放置在樣品臺上，選擇感興趣的區(qū)域，并制定所想要的掃描尺寸。其余的工作可以通過點擊各個按鈕由軟件完成。
系統(tǒng)將自動執(zhí)行懸臂的頻率掃描，移動Z平臺至樣品，并自動對焦到樣品上供用戶查看并選定感興趣的成像區(qū)域。同時將調(diào)整相關(guān)參數(shù)并優(yōu)化設(shè)置，懸臂定位樣品，然后開始掃描。掃描過程中直到圖像完成，都無需用戶輸入其他內(nèi)容。
大的集成軟件
Park Systems不斷致力于我們的產(chǎn)品使科研和工業(yè)街的用戶受益。我們新的集成軟件將在納米級顯微鏡和計量工具的準確度和效率上有顯著的。
以下是我們技術(shù)的部分列表：
Pinpoint Nanomechanical針尖納米機械的
QuickStep SCM快速SCM
One p EFM一鍵EFM
基于配方的自動掃描
自動缺陷檢查
3D掃描
掃描離子電導(dǎo)顯微鏡與原子力顯微鏡
應(yīng)用領(lǐng)域
Park Systems提供了一系列受歡迎的用于常規(guī)研究和工業(yè)應(yīng)用原子力顯微鏡。我們的設(shè)計多樣化，同時工作的高和多功能性，使研究人員和工程師能夠快速輕松地獲得的檢測結(jié)果。
應(yīng)用學(xué)科 | 應(yīng)用領(lǐng)域 |
材料科學(xué) | 失效分析 |
電子技術(shù) | 半導(dǎo)測、磁介質(zhì)檢測 |
生命科學(xué) | 細胞形態(tài)成像、納米活檢與 |
電化學(xué) | 電化學(xué)反應(yīng)成像 |
Park系列原子力顯微鏡范圍內(nèi)的研究所和企業(yè)。我們力求提供、便于操作的納米顯微鏡來滿足客戶的需求。
產(chǎn)品型號和參數(shù)：
型號 | 特性 |
Park NX10 | 研究型的AFM |
Park NX20 | NX10針對大樣品的改進版 |
Park XE7 | 經(jīng)濟型AFM |
Park XE15 | XE7針對大樣品的改進版 |
Park NX10
世界上且易于使用的研究型原子力顯微鏡
在當今激烈的競爭中，研究人員考慮儀器。順應(yīng)市場需求，我們開發(fā)了ParkNX10，世界上且易于使用的原子力顯微鏡。
納米尺寸的高
的Z掃描儀和低噪音Z探測器可提供更的讀數(shù)
XY平臺曲型底座可消除傳統(tǒng)原子力顯微鏡中的彎曲效應(yīng)
世界上真正的非接觸式原子力顯微鏡，更長時間保持針尖的尖銳
成像，友好的用戶界面，自動針尖靠近，和10次快速掃描設(shè)置
產(chǎn)品參數(shù)
掃描器
| XY掃描器
| Z掃描器
| |
閉環(huán)控制式單模塊柔性X-Y掃描器 掃描范圍：50μmX50μm（可 選10μmX10μm，100μmX100μm） 分辨率：0.05nm 定位檢測噪音：<0.25nm（帶寬：1kHz） 水平線性：<2nm（過40μm掃描）
| 柔性引導(dǎo)高力度掃描器 掃描范圍：15μm（可選30微 米） 分辨率：0.015nm 定位檢測噪音：0.03nm（波段寬 度：1kHz） 共振頻率：>9kHz（通 常10.5kHz） 表面成像噪音：<0.03nm（通 常0.02nm） | ||
光學(xué)系統(tǒng)
| 物鏡
| ||
可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng) 視場：480X360μm（在10X物鏡下） CCD：1M像素（像素分辨率：0.4μm）
| 10x（0.21NA）長工作范圍的鏡 頭（1μm分辨率） 20x（0.42NA）高分辨率長工作 范圍鏡頭（0.6μm分辨率） | ||
電路系統(tǒng) | 信號處理 | 集成功能 | 外部信號介入 |
ADC：18個通道 4ADC通道（64MSPS） X,Y和Z掃描器定位傳感器的24bit ADCs DAC：12通道 2DAC信道（64MSPS） X,Y和Z掃描器定位的20bit DACs 數(shù)據(jù)大?。?096X4096像素 | 3通道數(shù)字鎖相放大器 熱噪聲法標定彈性系數(shù) 數(shù)碼Q控制 | 20個嵌入式信號輸 入/輸出端口 5個TTL輸出：EOF, EOL, E OP, Modulation 和AC bias | |
選項/模式 | 標準成像 | 化學(xué)性能 | 介電/壓電性能 |
真正的非接觸模式 接觸模式 間歇式（輕敲式）AFM 橫向力模式（LFM） 相位成像 | 功能化探針的化學(xué)力 顯微鏡 電化學(xué)顯微鏡（EC-STM 和EC-AFM） | 靜電力顯微鏡（EFM） 動態(tài)接觸式靜電力顯 微鏡（DC-EFM） 壓電力顯微鏡（PFM） 高電壓PFM | |
力測量 | 磁性能 | 光學(xué)性能 | |
力-距離（F-D）光譜 力-體積成像 | 磁力顯微鏡（MFM） 可調(diào)外加磁場MFM | 探針增強型拉曼光譜 （TERS） 時間分辨率的光電流 測繪（Tr-PCM） | |
電性能 | 機械性能 | 熱性能 | |
導(dǎo)電AFM I-V譜線 掃描開爾文探針顯微鏡（SKPM/KPM） 高電壓SKPM 掃描電容顯微鏡（SCM） 掃描電阻顯微鏡（SSRM） 掃描隧道顯微鏡（STM） 掃描隧道光譜（STS） 時間分辨的光電流測繪（Tr-PCM） | 力調(diào)制顯微鏡（FMM） 納米壓痕 納米刻蝕 高電壓納米刻蝕 納米操縱 壓電力顯微鏡（PFM） | 掃描熱感顯微鏡 | |
樣品臺 | 配件 | ||
樣品尺寸：50mmX50mm，20mm厚 樣品重量：500g XY臺工作范圍：20mmX20mm Z臺工作范圍：22mm 聚焦臺工作范圍：15mm | 電化學(xué)槽 控溫動態(tài)液相槽 控溫樣品臺 磁場發(fā)生器 | ||
軟件 | Park SmartScan | NXI | |
系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集的軟件 實時調(diào)整反饋參數(shù) 通過外部程序（選項）進行腳本級控制 | AFM數(shù)據(jù)分析軟件 |
Park NX20
強大、多功能、便于操作且適用于大樣品的杰子力顯微鏡
一般科學(xué)研究和工業(yè)研究人員像FA工程師等都希望取得的成果，儀器就不能出錯。這就是為什么Park NX20作為世界上的大樣本原子力顯微鏡受到世界各地的研究人員和FA人士的高度評價。
為研究人員和FA實驗室提供準確的大樣本原子力顯微鏡
介質(zhì)和基底的表面粗糙度測量
缺陷成像和分析
高分辨率電子掃描模式
3D結(jié)構(gòu)邊墻測量
的原子力顯微鏡形貌和低噪聲Z探測器
產(chǎn)品參數(shù)
掃描器 | XY掃描器 | Z掃描器 |
閉環(huán)控制式單模塊柔性X-Y掃描器 掃描范圍：100μmX100μm 50μmX50μm 10μmX10μm 20位位置控制和24位位置感應(yīng) | 柔性引導(dǎo)高力度掃描器 掃描范圍：15μm 30μm 20位位置控制和24位位置感應(yīng) | |
光學(xué)系統(tǒng) | 物鏡 | |
可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng) 視場：840μmX630μm（在10X物鏡下） CCD：5M像素
| 10x（0.21NA）長工作范圍的鏡頭 20x（0.42NA）高分辨率長工作范圍鏡頭 | |
電路系統(tǒng) | 信號處理 | 集成功能 |
ADC：18個通道 4ADC通道（64MSPS） X,Y和Z掃描器定位傳感器的24bit ADCs DAC：12通道 2DAC信道（64MSPS） X,Y和Z掃描器定位的20bit DACs 數(shù)據(jù)大?。?096X4096像素 | 3通道數(shù)字鎖相放大器 熱噪聲法標定彈性系數(shù) 數(shù)碼Q控制 | |
選項/模式 | 標準成像 | 電性能 |
真正的非接觸模式 接觸模式 間歇式（輕敲式）AFM 橫向力模式（LFM） 相位成像 | 掃描電容顯微鏡（SCM） 導(dǎo)電AFM 靜電力顯微鏡（EFM） 壓電力顯微鏡（PFM） 掃描開爾文探針顯微鏡SKPM | |
通用性能 | ||
磁力顯微鏡（MFM） 掃描熱顯微鏡（SThM） 力-距離（F-D）光譜 掃描隧道顯微鏡（STM） | 力調(diào)制顯微鏡（FMM） 納米壓痕 高電壓納米刻蝕 納米刻蝕 納米操縱 | |
可選 | ||
樣品臺 控溫隔音罩 液體用探針 液體模塊 溫度控制臺 外部偏置模塊 信號接入模塊 | ||
樣品臺 | 配件 | |
XY臺工作范圍：150mm（200mm可選） Z臺工作范圍：25mm 聚焦臺工作范圍：15mm 全軸精密編碼器（可選） | 電化學(xué)槽 控溫動態(tài)液相槽 控溫樣品臺 磁場發(fā)生器 | |
樣品尺寸 | ||
150mm（200mm可選） 保存晶片樣品的真空槽 |
Park XE7
真正的低預(yù)算研究級原子力顯微鏡
無論考慮出事價格還是總成本，Park XE7無疑都是經(jīng)濟實惠的研究級原子力顯微鏡之一。適合那些需要一個強大的研究型原子力顯微鏡或教學(xué)工具但預(yù)算吃緊的用戶。該儀器配備有park的招牌True Non-ContactTM模式，可以節(jié)省購買探針的花費。同時XE7易于升級，所以比起其他原子力顯微鏡，客戶可以使用更長時間。
為預(yù)算緊張的研究提供高和多性能
消除串擾并提供更準確的XY掃描
無需軟件后處理就可以得到的高度測量
樣品測量選項多
的SPM模式
業(yè)內(nèi)多的可選功能和升級選項
產(chǎn)品參數(shù)
掃描器 | XY掃描器 | Z掃描器 | |
閉環(huán)控制式單模塊柔性X-Y掃描器 掃描范圍： 10μmX10μm 50μmX50μm 100μmX100μm
| 柔性引導(dǎo)高力度掃描器 掃描范圍：12μm 25μm
| ||
光學(xué)系統(tǒng) | 樣品尺寸 | ||
可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng) 10X物鏡（可選20X） 視場：480X360μm（在10X物鏡下） CCD：1M像素（像素分辨率：0.4μm）
| 樣品尺寸：100mm 樣品高度：20mm | ||
電路系統(tǒng) | |||
DSP：600MHz with 4800MIPS 圖像尺寸：4096X4096像素，16個數(shù)據(jù)圖像 信號輸入：在500KHz取樣時，16位ADC的20個通道 信號輸出：在500KHz取樣時，16位ADC的21個通道 同步信號：圖像結(jié)束，線結(jié)束及像素結(jié)束TTL信號 | 主動Q控制 懸臂梁彈性常數(shù)校準（選配） CE Compliant 電源：120W 信號處理模塊（選配） | ||
選項/模式 | 標準成像 | 化學(xué)性能 | 介電/壓電性能 |
真正的非接觸模式 接觸模式 間歇式（輕敲式）AFM 橫向力模式（LFM） 相位成像 | 功能化探針的化學(xué)力顯微鏡 電化學(xué)顯微鏡（EC-STM 和EC-AFM） | 靜電力顯微鏡（EFM） 動態(tài)接觸式靜電力 顯微鏡（DC-EFM） 壓電力顯微鏡（PFM） 高電壓PFM | |
力測量 | 磁性能 | 光學(xué)性能 | |
力-距離（F-D）光譜 力-體積成像 | 磁力顯微鏡（MFM） 可調(diào)外加磁場MFM | 探針增強型拉曼光譜 （TERS） 時間分辨率的光電流 測繪（Tr-PCM） | |
電性能 | 機械性能 | 熱性能 | |
導(dǎo)電AFM I-V譜線 掃描開爾文探針顯微鏡（SKPM/KPM） 高電壓SKPM 掃描電容顯微鏡（SCM） 掃描電阻顯微鏡（SSRM） 掃描隧道顯微鏡（STM） 掃描隧道光譜（STS） 時間分辨的光電流測繪（Tr-PCM） | 力調(diào)制顯微鏡（FMM） 納米壓痕 納米刻蝕 高電壓納米刻蝕 納米操縱 壓電力顯微鏡（PFM） | 掃描熱感顯微鏡 | |
樣品臺 | |||
XY臺工作范圍：13mmX13mm Z臺工作范圍：29.5mm 聚焦臺工作范圍：70mm | |||
軟件 | XEP | XEI | |
系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集的軟件 實時調(diào)整反饋參數(shù) 通過外部程序（選項）進行腳本級控制 | AFM數(shù)據(jù)分析軟件 |
Park XE15
強大的多功能經(jīng)濟型大樣本原子力顯微鏡
Park XE15包括許多的功能，使其需要用原子力顯微鏡處理大量不同種類樣品的實驗室和研究中心。其合理的價格和一系列強大的功能也是其成為性價比的原子力顯微鏡之一。
功能多樣而強大，專為納米研究和失效分析
的多樣品掃描減少了停機時間
200mmX200mm的大樣本尺寸提供了更多的可能性
具包容性的掃描模式組合可以適應(yīng)任何需要
適合公共實驗室和用戶中心
掃描器 | XY掃描器 | Z掃描器 | |
閉環(huán)控制式單模塊柔性X-Y掃描器 掃描范圍： 100μmX100μm
| 引導(dǎo)高力度掃描器 掃描范圍：12μm 25μm（可選）
| ||
光學(xué)系統(tǒng) | 樣品尺寸 | ||
可觀察樣品和探針的直視同軸光學(xué)系統(tǒng) 10X物鏡（可選20X） 視場：480X360μm（在10X物鏡下） CCD：1M像素（像素分辨率：0.4μm）
| 樣品尺寸：200mm 樣品高度：20mm | ||
電路系統(tǒng) | |||
DSP：600MHz with 4800MIPS 圖像尺寸：4096X4096像素，16個數(shù)據(jù)圖像 信號輸入：在500KHz取樣時，16位ADC的20個通道 信號輸出：在500KHz取樣時，16位ADC的21個通道 同步信號：圖像結(jié)束，線結(jié)束及像素結(jié)束TTL信號 | 主動Q控制（選配） 懸臂梁彈性常數(shù)校準（選配） CE Compliant 電源：120W 信號處理模塊（選配） | ||
選項/模式 | 標準成像 | 化學(xué)性能 | 介電/壓電性能 |
真正的非接觸模式 接觸模式 間歇式（輕敲式）AFM 橫向力模式（LFM） 相位成像 | 功能化探針的化學(xué)力顯微鏡 電化學(xué)顯微鏡（EC-STM 和EC-AFM） | 靜電力顯微鏡（EFM） 動態(tài)接觸式靜電力 顯微鏡（DC-EFM） 壓電力顯微鏡（PFM） 高電壓PFM | |
力測量 | 磁性能 | 光學(xué)性能 | |
力-距離（F-D）光譜 力-體積成像 | 磁力顯微鏡（MFM）
| 探針增強型拉曼光譜 （TERS） 時間分辨率的光電流 測繪（Tr-PCM） | |
電性能 | 機械性能 | 熱性能 | |
導(dǎo)電AFM I-V譜線 掃描開爾文探針顯微鏡（SKPM/KPM） 高電壓SKPM 掃描電容顯微鏡（SCM） 掃描電阻顯微鏡（SSRM） 掃描隧道顯微鏡（STM） 掃描隧道光譜（STS） 時間分辨的光電流測繪（Tr-PCM） | 力調(diào)制顯微鏡（FMM） 納米壓痕 納米刻蝕 高電壓納米刻蝕 納米操縱 壓電力顯微鏡（PFM） | 掃描熱感顯微鏡 | |
附件 | 電化學(xué)模塊 普通溫控液體模塊 樣品溫控臺 磁場發(fā)生器 | ||
樣品臺 | |||
XY臺工作范圍：150mmX150mm Z臺工作范圍：27.5mm 聚焦臺工作范圍：20mm，全自動的 可重復(fù)XY定位的精密編碼器（選配） | |||
軟件 | XEP | XEI | |
系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集的軟件 實時調(diào)整反饋參數(shù) 通過外部程序（選項）進行腳本級控制 | AFM數(shù)據(jù)分析軟件（可在Windows，MacOS，和Linux） |
