| 型號(hào) | LCD-70 | LCD-55 | |
| 尺寸 | 2000mm長(zhǎng)*1500mm寬*2000mm高 | 1500mm長(zhǎng)*1300mm寬*1500mm高 | |
| 重量 | 約2000KG | 約1200KG | |
| 電力需求 | 220V,50~60Hz | ||
| 樣品臺(tái) | 大小 | 1600mm*1000mm | 650mm*550mm |
| 樣品臺(tái)X-Y行程 | 樣品臺(tái)固定 | 樣品臺(tái)固定 | |
| 樣品固定方式 | 自然放置 | 自然放置 | |
| 光源 | 面背光、點(diǎn)背光、上光源 | 面背光、點(diǎn)背光、上光源 | |
| 顯微鏡特性 | 行程 | 1600mm*1000mm*50mm | 650mm*550mm*50mm |
| CCD像素 | 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字) | ||
| 目鏡 | 10X目鏡 | 10X目鏡 | |
| 物鏡 | 配置物鏡：5X,10X,20X,50X、100X(選配) | 配置物鏡：5X,10X,20X,50X、100X(選配) | |
| 物鏡轉(zhuǎn)盤 | 電動(dòng)鼻輪 | 手動(dòng)/電動(dòng)鼻輪 | |
| 調(diào)焦 | 聚焦模式:電動(dòng) | 聚焦模式：手動(dòng)或電動(dòng) | |
| 激光特性 | 波長(zhǎng) | 波長(zhǎng)可選擇1064/532/355/266nm波段 | 波長(zhǎng)可選擇1064/532/355/266nm波段 |
| 能量 | 輸出功率2.2mJ/pulse | 輸出功率2.2mJ/pulse | |
| 微加工能力 | 可加工材質(zhì)：Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF內(nèi)雜質(zhì)等 | 可加工材質(zhì)：Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF內(nèi)雜質(zhì)等 | |
| 加工 | 小可加工1*1um(配置100X鏡頭時(shí)) | 小可加工1*1um(配置100X鏡頭時(shí)) | |
| 冷卻方式 | 可選擇風(fēng)冷激光或水冷激光 | 可選擇風(fēng)冷激光或水冷激光 | |
| 控制系統(tǒng) | 結(jié)構(gòu) | 精密數(shù)控系統(tǒng)，采用高運(yùn)動(dòng)控制卡和日本伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)和步進(jìn)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)3軸聯(lián)合運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)X-Y平臺(tái)的任意曲線的運(yùn)動(dòng) | 精密數(shù)控系統(tǒng)，采用高運(yùn)動(dòng)控制卡和日本伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)和步進(jìn)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)3軸聯(lián)合運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)X-Y平臺(tái)的任意曲線的運(yùn)動(dòng) |
| 震 | 氣浮震平臺(tái) | ||
| 速度 | 速度分4檔可調(diào)，可以設(shè)定慢速度，速度下小移動(dòng)分辨率為1μm，速度不低于150mm/s | 速度分4檔可調(diào)，可以設(shè)定慢速度，速度下小移動(dòng)分辨率為1μm，速度不低于150mm/s | |
| 軟件功能 | 軟件系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)激光控制，光源控制，物鏡轉(zhuǎn)盤切換，電動(dòng)聚焦，平臺(tái)控制，圖像調(diào)整，鼠標(biāo)激光畫(huà)框，等功能。 可實(shí)現(xiàn)圖像點(diǎn)擊移動(dòng)，自定義軌跡，坐標(biāo)儲(chǔ)存，存儲(chǔ)坐標(biāo)定位，手動(dòng)坐標(biāo)定位，移動(dòng)鼠標(biāo)尋跡等功能。 速度可以通過(guò)軟件設(shè)定，鼠標(biāo)移動(dòng)的距離控制。 | PLC，搖桿電機(jī)控制 | |
| 可選附件 | 手動(dòng)控制盒 | ||
| 維修補(bǔ)償鏡頭 | 維修補(bǔ)償鏡頭 | ||
| 定制 | 定制 | ||
| 運(yùn)用方向 | 70寸以內(nèi)面板生產(chǎn)工藝不良和缺陷的，亮點(diǎn)、亮線、顯示異常等故障 | 55寸以內(nèi)面板生產(chǎn)工藝不良和缺陷的，亮點(diǎn)、亮線、顯示異常等故障 |
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