通用型微小流量熱式氣體質量流量控制器/計簡要描述：通用型微 小流量熱式氣體質量流量控制器/計用于對小流量氣體的質量流量進行精 密的測量和控制，通用型微小流量熱式氣體質量流量控制器/計具有精 度高，穩定性好，數字電路，性高，安裝簡單，操作方便。通用型微小流量熱式氣體質量流量控制器/計廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
產品特點：
高
穩定性好
數字電路
響應速度快
產品用途：廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
技術參數：
產品型號 | LF485-SC | LF485-SM |
滿量程范圍 | SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500 SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30 | |
量程比 | 控制器50:1 | 流量計100:1 |
±1.0%F.S | ||
線性 | ±0.5%F.S | |
重復性 | ±0.2%F.S | |
閥門類型 | 常閉閥 | |
響應時間 | ≤1S | |
工作壓差 | 0.1...0.5Mpa | |
耐壓 | 3MPa | |
工作環境溫度 | 5...45℃ | |
泄漏率 | 1×10-8Pa.m3/s | |
通信信號 | RS232/RS485 MODBUS協議 | |
供電方式 | 24VDC（250mA） | |
密封材料 | 丁晴橡膠 氟橡膠 | |
接頭尺寸 | 3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8” | |
電器接頭 | DB9針 |
