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XRF ROHS分析儀優點:
a) 分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
b) X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定 。
c) 非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。
d) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。
e) 分析精密度高。
f) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
RoHS測試為例，對臺式EDXRF測試結果X進行如下解釋：
??元素 單純的塑膠材料 單純的金屬材料 復合材料
??Cr X<700ppm，可視為滿足要求 X<700ppm，可視為滿足要求 X<500ppm，可視為滿足要求
??X>700ppm無法判斷是否滿足要求，需進行化學分析 X>700ppm無法判斷是否滿足要求，需進行化學分析 X>500ppm無法判斷是否滿足要求，需進行化學分析
??Br X<300ppm，可視為滿足要求 —— X<250ppm，可視為滿足要求
??X>300ppm無法判斷是否滿足要求 —— X>250ppm無法判斷是否滿足要求
??Pb X<700ppm，可視為滿足要求 X<700ppm，可視為滿足要求 X<500ppm，可視為滿足要求
??1300ppm>X>700ppm無法判斷是否滿足要求，需進行化學分析 1300ppm>X>700ppm無法判斷是否滿足要求，需進行化學分析 1500ppm>X>500ppm無法判斷是否滿足要求，需進行化學分析
??X>1300ppm可視為不滿足要求 X>1300ppm可視為不滿足要求 X>1500ppm可視為不滿足要求
??Hg X<700ppm，可視為滿足要求 X<700ppm，可視為滿足要求 X<500ppm，可視為滿足要求
??1300ppm>X>700ppm無法判斷是否滿足要求，需進行化學分析 1300ppm>X>700ppm無法判斷是否滿足要求，需進行化學分析 1500ppm>X>500ppm無法判斷是否滿足要求，需進行化學分析
??X>1300ppm可視為不滿足要求 X>1300ppm可視為不滿足要求 X>1500ppm可視為不滿足要求
??Cd X<70ppm，可視為滿足要求 X<700ppm，可視為滿足要求 X<70ppm，可視為滿足要求
??1300ppm>X>700ppm無法判斷是否滿足要求，需進行化學分析 1300ppm>X>700ppm無法判斷是否滿足要求，需進行化學分析 1500ppm>X>500ppm無法判斷是否滿足要求，需進行化學分析
??X>1300ppm可視為不滿足要求 X>1300ppm可視為不滿足要求 X>1500ppm可視為不滿足要求
??從上述描述可知，XRF適合用于材料是否符合法規要求的快速篩選，XRF的測試屬于定性半定量測試，XRF的測試結果不能用于符合性判斷的準確結果。
