JKZC-ST-6CD六軸納米掃描臺(tái)
JKZC-ST-6CD六軸納米掃描平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過(guò)高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。
1、典型應(yīng)用
掃描顯微鏡
生物技術(shù)
顯微成像/操縱
干涉測(cè)量
超分辨率顯微鏡
掩模/晶圓定位
計(jì)量
2、技術(shù)特點(diǎn)
亞納米級(jí)分辨率
超高定位精度
無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向
超高真空兼容性
高速、高動(dòng)態(tài)
多運(yùn)動(dòng)模式:定位/掃描
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-ST-6CD | 單位 | |
運(yùn)動(dòng)軸 | X,Y,Zθx,θY，θZ | |
驅(qū)動(dòng)類型 | 壓電陶瓷 | |
XY/Z向上的閉環(huán)行程 | 200/200/200 | μm |
θx/θv/θZ向上的閉環(huán)行程 | 土0.5/土0.5/土0.5 | mrad |
X/Y/Z向上的閉環(huán)分辨率 | 1/1/1 | nm |
θx/θY/θZ向上的閉環(huán)分辨率 | 0.1/0.1/0.1 | μrad |
X/Y/Z向上的線性誤差 | 0.01 | % |
θx/θV/θZ向上的線性誤差 | 0.1 | % |
X/Y/Z向上的重復(fù)定位精度 | 5/5/5 | nm |
θx/θY/θZ向上的重復(fù)定位精度 | 士0.1/士0.1/士0.15 | μrad |
平面度 | 15 | nm |
X/Y/Z向上的空載諧報(bào)頻率 | 110/110/200 | HZ |
大負(fù)載 | 5 | Kg |
傳感器類型 | 電容傳感器 | |
真空(可選) | 超真空兼容(5x10”) | mbar |
*真空版型號(hào):JKZC-ST-6CD-HV
5、適配控制器
