主要特征:
隔振頻率范圍是被動系統無法實現的;
大負載,可以為一個10 噸以上的設備提供防震;
的位置重復性能;
容易安裝;
高性能,但價位較高;
主要應用:
納米科技領域
例如:MEMS應用,原子力顯微鏡,原子成像設備等
半導體、液晶制造或檢測領域
例如:半導體傳送設備,半導體加工設備,液晶檢測儀器等
航空、航天、航海等特殊領域
MAPS系列規格(MAPS Series specificaiton)參數MAPS-008MAPS-016MAPS-033MAPS-065MAPS-130MAPS-240固有頻率200Hz以下隔振方式空氣彈簧阻尼方式可調阻尼孔桌面水平方式自動保持桌面水平,重復位置±50um負載(Kg)400-80-24500尺寸(mm)235*235*130296*296*140350*350*150450*450*190600*480*190700*600*267螺孔間距(mm)218*218276*276320*320420*420470*430560*560螺孔直徑(mm)重量(Kg)134263110180230供給氣壓0.40-0.70MPa平均消耗45-65(L/Min)120-170(L/Min)消耗120(L/Min)300(L/Min)電壓100-240V功率400W450W溫度0-40℃濕度35%-85%RH隔振性能參照transmissibility曲線自由度6© 2005 Shanghai Photroland Tec&Inf Co.,LTD. All Rights Reserved.上海芬創信息科技有限公司
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