德國BMT WLI白光干涉儀的詳細信息
主要特點
0,1mm2到0,7mm2視場
采用釘合方式擴大視場配置物鏡切換盤確定垂直分辨率來設定測量時間橫向分辨率可達1祄，垂直分辨率可到5 nm?
具有采用微透鏡掃描盤的快速光學系統全自動數據評估實驗室和在線兩用設計
主要優點：高保真輪廓復現，對物體三維結構快速，非接觸式的定性和量化測量結果與材料表面性能無關根據用戶需求配置系統和軟件
無人干預全自動測量過程將微透鏡掃描盤自動伸出后可作為普通的顯微物鏡使用采用壓電驅動或步進電機進行垂直掃描
軟件:
Windows XP 操作系統
測量和評估軟件包括下列功能：??水平調整，圖像縮放， 輪廓線的提取，毛刺的剔除, 過濾，數學計算，FFT，ACF，2D/3D 粗糙度參數，面積的測定，斜度和波度的分布狀態及其它。?
用戶特定要求的計算方法 ?技術數據：共焦顯微鏡頭
標準規格配置50x/0.8物鏡
帶有微透鏡掃描盤的掃描共焦傳感器?光源: LED壽命 h: > 50,000小時采用步進電機時的測量范圍mm：50mm采用壓電執行器件時的測量范圍μm: 100/150μm垂直分辨率 nm: 5nm橫向分辨率μm: 1μm工作距離mm: 0.66mm視場μm: 370 x 280μm256個高度臺階的測量時間s: 約 30秒重量kg：約12kg?測量工作臺 X、Y、Z每軸位移mm: 50mm小步距μm?: 1μm
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主要用途：粗糙和光滑表面的測量和顯示亞微米范圍內的微觀形貌測量金相測量非接觸式表面輪廓的計量主要特點
0,1mm2到0,7mm2視場
采用釘合方式擴大視場配置物鏡切換盤確定垂直分辨率來設定測量時間橫向分辨率可達1祄，垂直分辨率可到5 nm?
具有采用微透鏡掃描盤的快速光學系統全自動數據評估實驗室和在線兩用設計
主要優點：高保真輪廓復現，對物體三維結構快速，非接觸式的定性和量化測量結果與材料表面性能無關根據用戶需求配置系統和軟件
無人干預全自動測量過程將微透鏡掃描盤自動伸出后可作為普通的顯微物鏡使用采用壓電驅動或步進電機進行垂直掃描
軟件:
Windows XP 操作系統
測量和評估軟件包括下列功能：??水平調整，圖像縮放， 輪廓線的提取，毛刺的剔除, 過濾，數學計算，FFT，ACF，2D/3D 粗糙度參數，面積的測定，斜度和波度的分布狀態及其它。?
用戶特定要求的計算方法 ?技術數據：共焦顯微鏡頭
標準規格配置50x/0.8物鏡
帶有微透鏡掃描盤的掃描共焦傳感器?光源: LED壽命 h: > 50,000小時采用步進電機時的測量范圍mm：50mm采用壓電執行器件時的測量范圍μm: 100/150μm垂直分辨率 nm: 5nm橫向分辨率μm: 1μm工作距離mm: 0.66mm視場μm: 370 x 280μm256個高度臺階的測量時間s: 約 30秒重量kg：約12kg?測量工作臺 X、Y、Z每軸位移mm: 50mm小步距μm?: 1μm
