規(guī)格 

 cv-3100s4 cv-3100h4 cv-3100w4 cv-3100s8 cv-3100h8 cv-3100w8  
cv-4100s4 cv-4100h4 cv-4100w4 cv-4100s8 cv-4100h8 cv-4100w8  
測量范圍 x軸 100mm 200mm  
z軸（檢測器） ±25mm       
z2軸（立柱）移動量 300mm 500mm 500mm 300mm 500mm 500mm  
x軸傾斜范圍 ±45°  
標(biāo)尺 x軸 光柵尺  
z1軸（檢測器）  光柵尺（cv-3100系列），激光全息光柵尺（cv-4100系列）  
z2軸（立柱）  abs光柵尺  
分辨率 x軸 0.05цm  
z1軸（檢測器） 0.2цm(cv-3100系列)，0.05цm(cv-4100系列)  
z2軸（立柱） 1цm  
驅(qū)動速度 x軸 0-80mm/s和手動  
z2軸（立柱） 0-20mm/s和手動  
測量速度 0.02-5mm/s  
直線度（x軸在水平方向上） 0.8цm/100mm 2цm/200mm  
指示（20℃時）cv-3100系列 x軸 ±(1+0.01l) цm l=驅(qū)動長度（mm） 
寬范圍：2цm/100mm 
窄范圍：1.25цm/25mm ±(1+0.02l) цm l=驅(qū)動長度（mm） 
寬范圍：5цm/200mm 
窄范圍：1.5цm/25mm  
z1軸（檢測器） ±(2+14h/100) цm h:水平位置上的測量高度（mm）  
指示（20℃時）cv-4100系列 x軸 ±(0.8+0.01l) цm l=驅(qū)動長度（mm）寬范圍：1.8цm/100mm 
窄范圍：1.05цm/25mm ±(0.8+0.02l) цm l=驅(qū)動長度（mm） 
寬范圍：4.8цm/200mm 
窄范圍：1.3цm/25mm  
z1軸（檢測器） ±(0.8+10.5hl/25) цm h:水平位置上的測量高度（mm）