MKS1559A氣體質量流量計

1559A大流量控制器
1559是一種通用型彈性密封的質量流量控制器，可在20slm（42.5cfh）到200slm（425cfh）量程范圍進行氣體的質量流量控制。相比于其它的大流量控制器，1559獨有的控制閥門能夠消除振蕩、具有更好的響應時間。它的這個特點是通過使用一“平衡力”閥門的設計來實現的，它能夠消除管道壓力引起控制閥門內部的非平衡狀態。1559的為全量程的±1％。

用于1559A的電纜線
CB259-5-10用來將1559連接至PR4000, 246, 247                                            
（如要在247上連接2個以上的通道，需要添加一個電源，請用CB1559-1-10）          
CB147-1-10用來將1559連接至146, 186, 647, 167                             
CB1559-1-M1用來連接1559A、247D和260PS    
 經銷世界的MFC品牌有：Brooks,MKS,UNIT,Tylan,AE,STEC,Alicat等，品種規格齊全，同時經銷的產品品牌包括：INFICON（膜厚控制儀、真空計/真空規、四極質譜儀、壓強控制系統、氦質譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、真空閥門），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；
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