ASM142特點(diǎn)說明
l 新型質(zhì)譜儀：
采用180度磁場偏移質(zhì)譜儀，裝配兩具獨(dú)立燈絲，可縮短待機(jī)時間，可使測漏儀可偵測到5.0E-12 mbar.l/s 之漏率
l 數(shù)字顯示板：
四種操作方式，加強(qiáng)使用的友善性；采用數(shù)字及刻度的方式表示漏率，減少誤讀機(jī)會；以聲響方式提醒使用者測漏情形。
采用高亮度LED數(shù)字顯示漏率,讀值容易且方便。
l 抽氣系統(tǒng)：
粗抽系統(tǒng)采用ALCATEL 旋片泵及高真空分子牽引泵組合而成，真空值可達(dá)10E-5 mbar)，抽氣速率可達(dá)
l 操作簡單：
具有自動歸零調(diào)整功能，可選擇漏率單位( mbar.l/s ; torr.l/s ; Pa.M3/s )，自動選擇測漏模式(大漏-Gross mode或是微漏Normal mode)，可自動計(jì)算分流效應(yīng)，清潔簡潔的操作面板。
l 構(gòu)造堅(jiān)固：
采用低轉(zhuǎn)速(27000 rpm)，入口端壓力為10mbar，啟動時間短，反應(yīng)時間快(<0.5 sec)，可使用在嚴(yán)厲的制程環(huán)境，并可在不關(guān)機(jī)的情況下移動使用。
l 多樣化功能：
在任何測試模式的功能指示數(shù)值。
可以移動使用。
有可外接的RS 232及模擬式I/O，可將量值輸出。
在遙控器上可操作自動校正、自動歸零和放大功能。
重量僅
