PECVD燃燒水洗式尾氣處理設備適用于：太陽能光伏、半導體、微電子等行業中多余的危害性氣體.
處理的氣體包括：SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C
主要有以下優點：
1. 整機設計美觀, 安全標準。
2．擁有處理量特大﹑效率高﹑及長時間運轉。
3．操作容易上手、保養簡單快速、零料件經久耐用，性價比高
西安西能光伏科技有限公司
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