儀器簡介：
技術參數：
主要特點：
Wyko NT9800 光學輪廓儀在0.1nm 到 10mm 的垂直掃描范圍內提供了非接觸式高速高三維表面測量工能，縱向分辨率可達0.1nm。NT9800 采用了Veeco的內部實時激光參考信號進行持續(xù)的自校準，減小了通常情況下使用標準塊校準設備的需要，并且能夠補償工作環(huán)境下系統(tǒng)產生的熱漂誤差。作為業(yè)內的第九代Wyko NT系列光學輪廓儀產品，NT9800 具有的自動化水平，友好的用戶界面，以及業(yè)內的Wyko Vision分析軟件系統(tǒng)。眾多先進技術的集成、經過長期實用驗證的測量技術以及適合于各種應用需要的軟件功能，使 NT9800 成為世界上先進的光學干涉測量設備，可滿足MEMS、金屬研究、材料科學、半導體、醫(yī)用器械等眾多領域科研和生產工作中對高自動化表面測量的需要。
技術參數：
1、縱向掃描范圍：0.1nm~1mm (標配）
2、垂直掃描速度：25um/s
3、樣品臺尺寸：200mm
主要特點：
1. 非接觸測量
2. 重復性高
3. 測量高
