- 產品品牌：
- 美國SMI
- 產品型號：
- SM54系列 SM56系列 SM58系列
- 制作工藝：
- 集成
- 輸出信號：
- 數字型
美國SMI公司的硅微結構壓力傳感器件和傳感器晶圓；產品廣泛應用于汽車制造、醫療設備和工業生產：如胎壓檢測、引擎控制、呼吸機、監護儀、氧氣瓶、風速計、血壓計、空調系統等相關產品。 美國SMI微壓傳感器的技術原理 美國Silicon Microstructures INC.開發了一系列價位低、線性度在0.3%到0.05%范圍內的硅微結構壓阻式傳感器，滿量程為0.15psi(1KPa)、0.3psi(2KPa)、0.8psi(5KPa)、1.5psi(10KPa)、3 psi(20KPa)、滿量程為0.15psi(1KPa)，被列為超低壓力測量范圍。 美國SMI廉價的壓阻式、超低壓傳感器成功的關鍵是它的創新的物理刻蝕設計。一般來說,硅微壓力傳感器芯片采用扁平膜來測量壓力。SMI傳感器芯片采用三維膜片結構,用硅刻蝕工藝將產生的應力(壓力)集中在傳感電阻處。這樣在保持總體和線性度的同時仍有很高的靈敏度。80%的應力傳遞到膜片中的梁式區域,而膜片丟失的應力只有20%。
除了壓阻器所處的四周外，膜片的所有部分都減薄，從而得到膜片的浮凸結構。由于傳感器看起來象機械力放大器，因而便于把膜片運動的應力集中在壓阻器上，增加的應力極大地提高了信號輸出，膜片上的浮凸用做終止層。四周的薄膜有效地將器件密封起來。因此壓力不會前后移動。此外，在器件的結構內，離子注入電阻形成壓阻式惠斯登電橋，凹坑減少了器件的總震動質量。 產品技術原理 壓阻式：壓阻式傳感器是采用集成電路制造技術在半導體基片上直接生成擴散電阻并組成電橋，半導體材料通常為硅材料，所以壓阻式傳感器又常稱為擴散硅壓力傳感器。由于采用了集成電路生產技術，這類傳感器非常適合大批量生產，成本也很低，壓阻式傳感器面臨的主要問題是受溫度影響較大。------SMI54系列微壓傳感器 Silicon Microstructures, Inc. (SMI) 生產各種微結構壓力傳感器，產品廣泛用于汽車制造、醫療設備和工業生產。SMI不僅設計、生產各類微壓傳感器，并且提供集成化傳感器和基于 MEMS 的傳感器系統代工服務。
作為高性能硅壓力傳感器和加速計的生產廠家，SMI 成立于1991年。起初公司生產硅低壓傳感器，如今 SMI 已擁有眾多系列的硅微結構傳感器，為各類 OEM 客戶提供質優價廉的產品。
2001年4月該公司被專門生產汽車用 ASIC 的 Elmos 半導體公司收購。通過集成 Elmos 的 ASIC 技術和 SMI 的6 英寸晶圓生產工藝，推出高性能、系統化、低價位的新一代完整片上系統微結構傳感器。2002年8月 SMI 收購了 IC Sensors 的晶圓部，03年 SMI 設計出新型6英寸晶圓生產設備，該設備擁有先進的深度離子刻蝕 (DRIE) 和等離子焊接能力。
氣壓系列-SM5852-003 to SM5852-030
SM5852-003 to SM5852-030
氣壓系列-SM5812-001
SM5812-001
氣壓系列-SM5812
SM5812
氣壓系列-SM5652
低壓（0-0.15 至0-100PSI） 恒壓、恒流供電方式可選 D I P 封 裝 0-60℃溫度補償 表壓、壓差、絕壓、測量
氣壓系列-SM5651
低壓（0-0.15 至0-100PSI） 恒壓、恒流供電方式可選 D I P 封 裝 0-60℃溫度補償 表壓、壓差、絕壓、測量
氣壓系列-SM5612
低壓（0-0.15 至0-100PSI） 恒壓、恒流供電方式可選 D I P 封 裝 0-60℃溫度補償 表壓、壓差、絕壓、測量
氣壓系列-SM5611
低壓（0-0.15 至0-100PSI） 恒壓、恒流供電方式可選 D I P 封 裝 0-60℃溫度補償 表壓、壓差、絕壓、測量
氣壓系列-SM5552
低壓（0-0.15PSI 至0-30PSI） 全溫度補償 表壓及差壓測量 恒壓供電及恒流供電可選
氣壓系列-SM5551
低壓（0-0.15PSI 至0-30PSI） 全溫度補償 表壓及差壓測量 恒壓供電及恒流供電可選
氣壓系列-SM5502
0-5PSI 至0-100PSI 量程范圍 全溫度補償 電壓電源或電流電源可選
氣壓系列-SM5501
0-5PSI 至0-100PSI 量程范圍 全溫度補償 電壓電源或電流電源可選
氣壓系列-SM5410
低壓（0-0.15PSI~0-100PSI） 宜于使用 結構緊湊 低成本、高性能
氣壓系列-SM5450
低壓（0-0.15PSI~0-100PSI） 宜于使用 結構緊湊 低成本、高性能
氣壓系列-SM5350
低壓（0-0.15PSI~0-100PSI） 宜于使用 結構緊湊 低成本、高性能
氣壓系列-SM5310
低壓（0-0.15PSI~0-100PSI） 宜于使用 結構緊湊 低成本、高性能
氣壓系列-SM5106(芯片）
SM5106(芯片）
氣壓系列-SM5103（芯片）
SM5103（ 芯片）
氣壓系列-SM5102（芯片）
SM5102（芯片）
