產品品牌：

德國Visitec

產品型號：

LC-SEM MIRA

類型：

電子顯微鏡

  超大試樣室掃描電子顯微鏡 (LC-SEM) MIRA超大試樣室掃描電鏡（LC-SEM）。作為世界上的一種掃描電鏡，自從推出后，已得到廣泛應用。可以裝備多種不同的探測設備來滿足不同的需求。不僅可以檢查大型零部件的物理特性，還可以評價原材料的化學和結晶體特性。幾乎對任何樣本都可實現非常準確的，直到在分子層面的一站式檢查和分析。       使用通常掃描電子顯微鏡時，在材料科學中面臨挑戰之一是被測樣品的大小限制。通常情況下，只能對直徑在數十到一百毫米內小的樣本進行研究。這限制了這一重要測試技術的應用。LC-SEM克服了這一點，其超大真空室和光學系統擴展視圖功能可容納直徑與高度分別達1500mm，重300kg的樣品。從一粒沙子到一個柴油發動機大小的樣品，不必切小，僅用一臺儀器就可以做全面的檢查。其足夠大的空間還可進行原位觀察，實現零部件疲勞、磨損等非破壞性試驗研究。   LC-SEM 真空室和真空系統  

LC-SEM試樣室有 3 m3、9 m3、12 m3 三種型號，可觀察試樣尺寸：直徑1500毫米、高度1500毫米。真空系統裝配有強大的三個真空泵：旋片和轉子泵應用于低真空，渦輪增壓泵應用于高真空，可實現 10 -6  mbar的高真空。該系統有足夠的能力，除去腔室中試樣的氣體，在45分鐘內便可以實現所需的真空度。腔室設置有多層墻體保證了不受任何外部磁場的影響。

 

                      獨特的定位系統      當一個人觀察一個小的對象時，會在手中扭轉對象，人眼-可視化系統是固定的。當觀察一個更大的物體時，人會在物體周圍左右移動，以便完全觀察它。種情況是類似于標準SEM的情況，而后者則反映了LC - SEM的情況。 LC -SEM 配備了定位系統，配備有一個5 +1旋轉軸系統，電子搶、相機和各種探測器都懸掛在旋轉軸上，初是利用遠程控制來調整軸的角度和高度，使柱體的位置相對迅速接近樣品的重點區域，再通過計算機控制移動電子槍和探測器以及完整的光學系統，可以滿足從不同角度的視角觀察。在研究過程中，還可以進行修改以便優化信號接收。并且還可以移動試樣，這樣極大地減少了試樣裝載次數。     四個電腦顯示器通過探測器跟蹤柱和樣品的運動以及觀察試樣表面特性和分析化學信息，軟件、電氣和機械接口通過一個單一的終端控制。   成像和分析系統 通過裝備鎢絲電子槍，LC-SEM有能力提供高于10nm的分辨率和高達30萬倍的圖像放大能力，加上強大的二次反射電鏡的通道倍增探測器，整個系統通過多個運行系統保證圖像的質量。阻尼系統可以防止外部振動影響系統，同時電子槍和探測器有一個創新的冷卻循環系統。LC-SEM 和它的所有部件都采用100％的計算機控制，其系統全部使用Microsoft Windows ®的軟件設計。 通過分析系統的集成，在腔室的真空環境下，通過能量發散X射線光譜儀（EDS）和電子背散射衍射系統（EBSD），LC-SEM 擁有生成完整的測試結果的能力。LC-SEM 也可以配置聚焦離子束（FIB）和傅立葉變換紅外光譜儀（FT - IR）實現其擴展功能。LC-SEM的可變壓力方式還可以讓工程師和科學家做傳導和絕緣樣本的臨界面特性研究，包括金屬、陶瓷和金屬間化合物。   更多：LC-SEM產品及應用圖片   原 位 觀 測   除了研究大樣本， LC–SEM還可應用于在材料的變形行為的原位觀測以及在微系統技術領域生產過程的現場觀測控制中。LC–SEM 也可以通過 “中斷監控” 實現較大的工程部件的無損檢測實驗。例如，測試高壓泵的高負荷部件的摩擦特性，可以通過進行中斷監控來研究。這些部件在正常工作一段時期后，可在 LC-SEM 中觀察研究，之后可以再立即工作，從而得到不同使用階段的摩擦特性。這種監測系統的方式將打開一個全新的、廣闊的工程應用領域，使得我們能夠獲得更直接、更詳細的對磨合和破壞過程的了解。

 

  在LC-SEM內的疲勞試驗    為了滿足評估原位變形特性研究的需要，將一個機械液壓疲勞試驗機融入到了腔室中，可以在LC - SEM中執行疲勞測試。 在這種聯合測試中，不僅能確定材料過載臨界點，而且裂紋的生成與擴展也能被觀察和研究，晶體材料的特性能在執行疲勞試驗后進行研究，由此顯微鏡轉換成了一個完整的測試設備，能提供完整的測試結果。該系統能使研究人員記錄材料裂紋聚集之前的結構變化，同時能夠觀察微觀結構對初期裂紋形成與擴展的影響。該系統還設計有一個節點控制機制，允許感興趣的點始終留在視野當中。本機的優異的穩定性，能夠極大地改善疲勞、開裂現象的原位研究。           應用實例：美國田納西大學--應用LC-SEM的疲勞試驗      

 

 

---

 

應用行業          材料科學          航空、航天         軍事與國防     汽車         文化與考古         半導體和電子元件                醫藥與生物材料         法醫學

應用領域           非破壞性檢測         原位分析         故障分析         研究與開發

 

 

                   

 

  

 

 

 

 

 

 

---

        LC-SEM   技術規格參數   

電子光學
分辨率	優于10納米
放大倍數	10x – 300,000x
加速電壓	0.2 – 30keV
探測器	二次反射通道倍增電子探測器 四象限背散射電子探測器
分析能力	能量色散X射線光譜儀（EDS）
	電子背散射衍射（EBSD）
附加功能	聚焦離子束（FIB）
	傅立葉變換紅外光譜儀（FT - IR）
	內部攝像系統
圖像處理
軟件	MIRA控制系統
硬件	個人電腦，顯示器和打印機
真空系統
低真空泵	旋片泵，65立方米/ h
	旋轉式轉子泵，400立方米/小時
高真空泵	渦輪泵2400升/秒
極限真空	直至45分鐘后10-6毫巴
真空室	3 m3; 9 m3; 12 m3

                                                                       

標本
尺寸	高達直徑1500毫米，高度1500毫米
質量	300 kg,
定位系統
軸	5 +1微步控制軸系統
重復	±50 μm
定位范圍
X-軸	600mm, 1000mm, 1500mm
Z-軸	600mm, 1000mm, 1500mm
A-軸	90°
B-軸	135°
C-軸	360°
D-軸	350°