- 產(chǎn)品品牌：
- 美國(guó)MKS
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- πMFC
- 測(cè)量范圍：
- 2-20 m3/h
- 等級(jí)：
- 1%
- 適用介質(zhì)：
- 多氣體，多范圍
- 工作壓力：
- 多量程 MPa
- 工作溫度：
- 常溫 ℃
1，新一代πMFC壓力不敏感質(zhì)量流量控制器在功能和性能上都進(jìn)行了改進(jìn)，使得半導(dǎo)體和高純薄膜用戶(hù)能進(jìn)一步增加他們?cè)O(shè)備的產(chǎn)額。
2，通過(guò)一個(gè)先進(jìn)的數(shù)字算法，似的控制器對(duì)上游和下游的壓力擾動(dòng)不敏感，實(shí)現(xiàn)了的實(shí)時(shí)流量控制。
3，與通常基于PID的數(shù)字MFC相比，他由于能實(shí)現(xiàn)工藝氣體流量的實(shí)時(shí)控制而極大地提高了控制，具有更好的工藝腔室匹配性。
4，集成的壓力傳感器和其LED顯示可減少所需一個(gè)氣體stick的組成數(shù)目，基于網(wǎng)絡(luò)的瀏覽器界面使客戶(hù)可以實(shí)時(shí)地進(jìn)行控制器的設(shè)置和故障排除，從而減少了對(duì)“無(wú)故障”MFC的替換并且無(wú)需中斷工藝氣體輸送。
