上海圣沃實(shí)業(yè)有限公司
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李樹(shù)蓉女士(聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)說(shuō)明是在維庫(kù)儀器儀表網(wǎng)看到的，謝謝)
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特點(diǎn)
1.快速響應(yīng)ppb水平的微量濕度變化
2.高靈敏度，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)
3.小巧經(jīng)濟(jì)，適合多點(diǎn)安裝
4.報(bào)警點(diǎn)設(shè)置可編程
5.交通燈直觀狀態(tài)顯示
6.MODBUS兼容
典型運(yùn)用
安裝于晶圓生產(chǎn)FAB中的高純惰性氣體管路末端
技術(shù)參數(shù)
響應(yīng)時(shí)間：<1Min（在1ppb基礎(chǔ)上的20ppb變動(dòng)）
濕度范圍：1ppb~20,000ppm
工作壓力：0~10Bar
壓力等級(jí)：30MPa
工作溫度：+5~+40℃
氣室材料：冷拉不銹鋼，內(nèi)部超微米級(jí)電拋光
防護(hù)等級(jí)：IP65
流量等級(jí)：建議為1~10NL/Min
工作電源：20~28VDC
輸出信號(hào)：Modbus RS485
