ALIO 是超高性能六自由度并聯運動平臺的世界供應商，與傳統的多軸串聯運動平臺相比，多軸并聯平臺具有更多明顯的優點，比如更低的運動慣量、更高的動態性能、更小的體積和更高的結構剛性。ALIO 開創性的三自由度并聯運動平臺TRIPOD 和六自由度并聯運動平臺HEXAPOD 更是憑借優異的性能成為六自由度運動平臺的行業標桿（美國： 和）。多自由度并聯運動平臺正因其靈活的自由度和亞微米（甚至納米）級別的，成為各種不同復雜定位應用的客戶，比如光電加工領域的微操作系統和微裝配系統，精密加工領域的工件承載，醫療領域的檢測系統，也可用于天文望遠鏡的光學系統，衛星天線發射/接受系統（如下圖即為ALIO 為美國空軍設計的衛星定位系統）。ALIO 的多軸并聯運動平臺基于兩種不同的動力進行驅動，采用壓電馬達驅動的多軸平臺能夠勝任在各種真空、強磁、失重等環境，且壓電馬達自身的斷電自鎖能夠保證設備在非工作狀態時依然能夠保持較為穩定的位置形態。采用直線電機驅動的多軸平臺則具備更為優異的運動特性，高速、高、適合工況條件長時間大負荷操作。全樹脂封閉的直線電機線圈甚至能夠實現在水下環境的工作。全系列多軸并聯平臺皆配備了納米級別的光柵反饋系統及運動控制系統，能夠適應工業化簡單、快捷、穩定的上手操作要求。在六自由度并聯運動平臺中，用戶只需要簡單的輸入笛卡爾坐標軸的各自的位置數據，運動控制系統就能夠根據該目標位置進行復雜的算法計算，進而控制每一軸的高位移，使得用戶指定的目標位置能夠性平滑到位。應用領域光電封裝和對準微機械和微加工醫療技術半導體工藝數據存儲設備測試激光技術和光電技術細胞微操作生物科技微裝配航空衛星定位系統6D ALIO HYBRID HEXAPOD 規格參數（如需其他型號資料請來電或郵件索取）XY 軸行程1 ±50mm 至±150mmZ 軸行程2 ±3mm 至±53mmθX,θY 行程3 ±3°至±17.5°θZ 行程360°驅動器行程 4 6mm 至106mm驅動器分辨率5nm,標準X 軸小步長20nm 至50nmY 軸小步長20nm 至50nmZ 軸小步長20nm 至50nmX 軸重復定位<<100nmY 軸重復定位<<100nmZ 軸重復定位<<100nmθX,θY,θZ 小步長~1uradθX,θY,θZ 重復定位<±2urad小速度um/s速度200mm/s有效負載5 2kg 至10kg（采用氣缸平衡配重）馬達/驅動類型直線電機及轉矩馬達直驅反饋 標準光柵反饋光柵零位及限位支持 支持回程間隙 無遲滯 無正向/反向運動支持速度控制 支持運動軌跡控制 支持運動控制器 高/超高G 代碼可選軟件界面/接口C++,VB,LabVIEW*產品的性能依賴于應用，ALIO 提供基于基本性能特征及有效負載下的咨詢1、2、3、4 更大的行程要求請直接咨詢廠商5 更大的負載要求請直接咨詢廠商使用環境：實驗室、無塵室、真空環境使用（具體細節請咨詢廠商）環境溫度: 0 – 50°C保存溫度: -40°C - +70°C濕度: 0 – 80% 無結露