- 產(chǎn)品品牌：
- 德國
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- ZLM800
產(chǎn)品功能
ZLM800微位移測(cè)量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于各種平臺(tái)和部件的微位測(cè)量、各種擺鏡角度變化量的監(jiān)測(cè)、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)位移量和角度變化的檢測(cè)、光刻機(jī)幾何量的測(cè)量、數(shù)控機(jī)床幾何量的測(cè)量等，多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。也可通過位移+偏擺+俯仰的三角關(guān)系測(cè)量檢測(cè)物體的振動(dòng)變化。
性能優(yōu)勢(shì)
技術(shù)參數(shù)
型號(hào)：ZLM800
使用高性能PCI或單片機(jī)式數(shù)據(jù)處理器
He-Ne激光平均波長：
632.8 nm
激光穩(wěn)頻：
一小時(shí)2x10-9（±0.002ppm）
壽命內(nèi)2x10-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)（0-40℃時(shí)）：
±0.4ppm
光束直徑：
6mm (可選3.2mm)
激光管突發(fā)輸出功率：
5mW (激光等級(jí)2)
每束光可測(cè)量的軸數(shù)：
多6個(gè)
線性測(cè)量距離：
2m
角度測(cè)量范圍：
± 3.5'
速度：
2m/s
加速：
無限制
采樣頻率：
內(nèi)部1MHz，外部40MHz
預(yù)熱時(shí)間：
10分鐘
位移測(cè)量分辨率：
1.25nm
位移測(cè)量：
±0.4ppm (μ/m)
角度測(cè)量分辨率：
0.003μrad
角度測(cè)量：
±0.1ppm實(shí)測(cè)值
數(shù)據(jù)接口：
積分信號(hào)
32 Bit (實(shí)時(shí)時(shí)間)
Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：
溫度：15°C-30°C
濕度：<90%無冷凝
儲(chǔ)存環(huán)境：
溫度：10°C-40°C
濕度：<95%無冷凝
應(yīng)用
下述是為國內(nèi)某研究所某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800測(cè)量系統(tǒng)。用戶預(yù)先把被測(cè)物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀察窗口。所需要測(cè)量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標(biāo)Ⅰ、被監(jiān)視目標(biāo)Ⅱ的X、Y向的角度變化量，以及這兩個(gè)目標(biāo)在Z方向的相對(duì)變化量。
ZLM800部分光路圖示例
從X、Y和Z方向同時(shí)測(cè)量被測(cè)物體的位移，其中X和Y在一個(gè)水平層面上
在水平方向同時(shí)測(cè)量出被測(cè)物體的位移、偏擺和俯仰角度變化（上圖）
在垂直方向同時(shí)測(cè)量出被測(cè)物體的位移、偏擺和俯仰角度變化（上圖）
同時(shí)從X和Y方向測(cè)量被測(cè)物體的位移變化（上圖）
同時(shí)從X和Y方向測(cè)量運(yùn)動(dòng)平臺(tái)兩個(gè)層面的位移變化（上圖）
同時(shí)從X和Y方向測(cè)量位移、偏擺和俯仰的角度的變化（1）
同時(shí)從X和Y方向測(cè)量位移、偏擺和俯仰的變化（2）
同時(shí)從X和Y方向測(cè)量位移、偏擺和俯仰的變化（3）
資料
復(fù)雜光路測(cè)量的應(yīng)用.pdf
系統(tǒng)應(yīng)用簡介.pdf
