METONE4500顆粒在線檢測傳感器
特點：長壽命激光技術從而降低了使用成本
流量1cfm(28.3 升/ 分)，可小監控0.3μm(4503)和
0.5μm(4505)粒徑顆粒
0.3-5.0μm和0.5-10.0μm監測范圍
RS422 脈沖或者RS485Modbus, 輸出接線方式為RJ45 與FMS 系統連接和通訊
應用：電子半導體廠潔凈室空氣監控，惰性氣體采樣和微環境監控
性能：監控小粒徑尺寸0.3μm（4503） 0.5μm（4505）
流速采用小流量0.1cfm(2.83 升/ 分)
粒徑通道數為2
粒徑通道 4503 0.3-5.0μm 4505 0.5-10.0μm
計數效率 4503 50%@0.3μm 100%@>0.45μm 4505
50%@0.5μm 100%@>0.75μm
激光光源為長壽型激光二管（10 年 MTTF）;
濃度損失為<5%@2,000,000顆/ft3
電源采用9-28VDC；通訊協議方式為Modbus 或脈沖
特點：長壽命激光技術從而降低了使用成本
流量1cfm(28.3 升/ 分)，可小監控0.3μm(4503)和
0.5μm(4505)粒徑顆粒
0.3-5.0μm和0.5-10.0μm監測范圍
RS422 脈沖或者RS485Modbus, 輸出接線方式為RJ45 與FMS 系統連接和通訊
應用：電子半導體廠潔凈室空氣監控，惰性氣體采樣和微環境監控
性能：監控小粒徑尺寸0.3μm（4503） 0.5μm（4505）
流速采用小流量0.1cfm(2.83 升/ 分)
粒徑通道數為2
粒徑通道 4503 0.3-5.0μm 4505 0.5-10.0μm
計數效率 4503 50%@0.3μm 100%@>0.45μm 4505
50%@0.5μm 100%@>0.75μm
激光光源為長壽型激光二管（10 年 MTTF）;
濃度損失為<5%@2,000,000顆/ft3
電源采用9-28VDC；通訊協議方式為Modbus 或脈沖
