基礎技術參數：
?。吞枺篎UNION 564
?。谐蹋篨軸500mm、Y軸600mm、Z軸400mm
?。Y構型式：活動橋式
?。獋鲃臃绞剑褐绷魉欧到y(tǒng)＋預載荷高空氣軸承
＊長度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm
?。獧C臺：高（00級）花崗巖平臺
?。褂铆h(huán)境：溫度（20&plun;2）℃，濕度55％-65％，溫度梯度1℃／m，溫度變化1℃／h
＊空氣壓力：0.4MPa-0.5Mpa
＊空氣流量：120L／min–140L／min
＊整機尺寸（LWH）：1.2mX1.4mX2.3m
?。獧C臺承重：500kg
?。麢C重量：850Kg
＊空間測量：（2.80＋L／300）μm
?。吞枺篎UNION 564
?。谐蹋篨軸500mm、Y軸600mm、Z軸400mm
?。Y構型式：活動橋式
?。獋鲃臃绞剑褐绷魉欧到y(tǒng)＋預載荷高空氣軸承
＊長度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm
?。獧C臺：高（00級）花崗巖平臺
?。褂铆h(huán)境：溫度（20&plun;2）℃，濕度55％-65％，溫度梯度1℃／m，溫度變化1℃／h
＊空氣壓力：0.4MPa-0.5Mpa
＊空氣流量：120L／min–140L／min
＊整機尺寸（LWH）：1.2mX1.4mX2.3m
?。獧C臺承重：500kg
?。麢C重量：850Kg
＊空間測量：（2.80＋L／300）μm
