基礎(chǔ)技術(shù)參數(shù)：
?。吞枺篎UNION 564
＊行程：X軸500mm、Y軸600mm、Z軸400mm
?。Y(jié)構(gòu)型式：活動橋式
＊傳動方式：直流伺服系統(tǒng)＋預(yù)載荷高空氣軸承
?。L度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm
＊機臺：高（00級）花崗巖平臺
?。褂铆h(huán)境：溫度（20&plun;2）℃，濕度55％-65％，溫度梯度1℃／m，溫度變化1℃／h
＊空氣壓力：0.4MPa-0.5Mpa
?。諝饬髁浚?20L／min–140L／min
?。麢C尺寸（LWH）：1.2mX1.4mX2.3m
?。獧C臺承重：500kg
?。麢C重量：850Kg
＊空間測量：（2.80＋L／300）μm
?。吞枺篎UNION 564
＊行程：X軸500mm、Y軸600mm、Z軸400mm
?。Y(jié)構(gòu)型式：活動橋式
＊傳動方式：直流伺服系統(tǒng)＋預(yù)載荷高空氣軸承
?。L度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm
＊機臺：高（00級）花崗巖平臺
?。褂铆h(huán)境：溫度（20&plun;2）℃，濕度55％-65％，溫度梯度1℃／m，溫度變化1℃／h
＊空氣壓力：0.4MPa-0.5Mpa
?。諝饬髁浚?20L／min–140L／min
?。麢C尺寸（LWH）：1.2mX1.4mX2.3m
?。獧C臺承重：500kg
?。麢C重量：850Kg
＊空間測量：（2.80＋L／300）μm
