試樣室掃描電鏡（LC-SEM）
MIRA試樣室掃描電鏡（LC-SEM）。作為世界上的一種掃描電鏡，自從195年推出后，它已得到廣泛應用。并已開發(fā)出各種不同的探測設備來滿足不同的需求。是FIB和FTIR提供了準確的，直到在分子層面的分析。LC–SEM適用于研究和開發(fā)。
使用掃描電子顯微鏡時在材料科學中面臨的挑戰(zhàn)之一是被測樣品的大小限制。通常情況下，只能對直徑在數(shù)十到數(shù)百百毫米小的樣本進行研究。這限制了可以使用這一重要測試技術分析的樣品。MIRA試樣室掃描電鏡（LC-SEM）克服了這一點，并廣泛應用在非破壞性試驗中。其真空室尺寸和光學系統(tǒng)擴展視圖功能多可容納至直徑1500m的樣品。
LC-SEM 真空室和真空系統(tǒng)
LC-SEM試樣室有 3 m3、9 m3、12 m3三種型號，可：直徑1500毫米、高度1500毫米。真空系統(tǒng)裝配有強大的三個泵：旋片和轉子泵應用于低真空，渦輪增壓泵應用于高真空，可實現(xiàn) 10-6 mbar的高真空。該系統(tǒng)有的能力，除去腔室中試樣的氣體，在45分鐘內便可以實現(xiàn)所需的真空度。設置有多層墻體，腔室設計還了不受任何外部磁場的影響。
的定位系統(tǒng)
如果一個人觀察一個小的對象，他們將扭轉對象，人眼-可視化系統(tǒng)-是固定的。當觀察一個更大的物體時，人會在物體周圍左右移動，以便觀察它。種情況是類似于標準SEM的情況，而后者則反映了LC-SEM的情況。
LC-SEM 配備了定位系統(tǒng)，通過移動電子和探測器以及完整的光學系統(tǒng)可以滿足同角度的視角觀察。裝有一個5＋1旋轉軸系統(tǒng)，并可移動樣品，減少了裝載周期數(shù)。
成像和分析能力
通過裝備的電子，LC-SEM有能力提供高于10nm的分辨率和30的圖像放大能力，加上強大的二次反射電鏡的通道探測器，整個系統(tǒng)通過多個運行系統(tǒng)圖像的質量。阻尼系統(tǒng)可以外部振動影響系統(tǒng)，同時電子和探測器有一個的冷卻循環(huán)系統(tǒng)。
100％的計算機控制
MIRA和它的部件都控制使用Microsoft Windows的軟件。
擴展功能
分析系統(tǒng)
通過分析系統(tǒng)的集成，在腔室的真空環(huán)境下，通過能量發(fā)散X射線光譜儀（EDS）和電子背散射衍射系統(tǒng)（EBSD），LC-SEM擁有生成完整的測試結果的能力。
LC-SEM也可以配置聚焦離子束（FIB）和傅立葉變換紅外光譜儀（FT-IR）實現(xiàn)其擴展功能。
除了研究大樣本，LC–SEM還可應用于在材料的變形行為的原位觀測以及在微系統(tǒng)技術領域生產(chǎn)過程的現(xiàn)場觀測中。
大試樣掃描電鏡也使得它可以執(zhí)行“中斷監(jiān)控”較大的工程部件的實驗。例如，測試高壓泵的高負荷部件摩擦特性，可以通過進行中斷監(jiān)控來研究。這些部件在正常工作一段時期后，可在 LC–SEM 中觀察研究，之后可以再立即工作，從而得到不同階段的摩擦特性。這種監(jiān)測系統(tǒng)的方式將打開一個不同的、廣闊的工程應用領域，使得我們能夠獲得更密切和更詳細的對磨合和破壞過程的了解。
在LC-SEM內的疲勞試驗
為了滿足評估原位變形特性研究的需要，將一個機械液壓疲勞測試框架融入到了腔室中，可以在LC-SEM中執(zhí)行疲勞測試。
在這種聯(lián)合測試中，不能確定材料過載臨界點，而且裂紋也能被觀察和研究，晶體材料的特性能在執(zhí)行疲勞試驗后進行研究，由此顯微鏡轉換成了一個完整的測試設備，能提供完整的測試結果。該系統(tǒng)能使研究人員記錄材料裂紋聚集之前的結構變化，同時能夠觀察微觀結構對初期裂紋擴展的影響。該系統(tǒng)還設計有一個節(jié)點控制機制，允許感興趣的點留在視野當中。本機的優(yōu)異的穩(wěn)定性，能夠疲勞-開裂現(xiàn)象的原位研究。
應用行業(yè)
汽車
航空、航天
軍事與國
文化與考古
半導體和電子元件
醫(yī)藥與生物材料
法
材料科學
應用領域
非破壞性檢測
原位分析
故障分析
研究與開發(fā)
MIRA試樣室掃描電鏡（LC-SEM）。作為世界上的一種掃描電鏡，自從195年推出后，它已得到廣泛應用。并已開發(fā)出各種不同的探測設備來滿足不同的需求。是FIB和FTIR提供了準確的，直到在分子層面的分析。LC–SEM適用于研究和開發(fā)。
使用掃描電子顯微鏡時在材料科學中面臨的挑戰(zhàn)之一是被測樣品的大小限制。通常情況下，只能對直徑在數(shù)十到數(shù)百百毫米小的樣本進行研究。這限制了可以使用這一重要測試技術分析的樣品。MIRA試樣室掃描電鏡（LC-SEM）克服了這一點，并廣泛應用在非破壞性試驗中。其真空室尺寸和光學系統(tǒng)擴展視圖功能多可容納至直徑1500m的樣品。
LC-SEM 真空室和真空系統(tǒng)
LC-SEM試樣室有 3 m3、9 m3、12 m3三種型號，可：直徑1500毫米、高度1500毫米。真空系統(tǒng)裝配有強大的三個泵：旋片和轉子泵應用于低真空，渦輪增壓泵應用于高真空，可實現(xiàn) 10-6 mbar的高真空。該系統(tǒng)有的能力，除去腔室中試樣的氣體，在45分鐘內便可以實現(xiàn)所需的真空度。設置有多層墻體，腔室設計還了不受任何外部磁場的影響。
的定位系統(tǒng)
如果一個人觀察一個小的對象，他們將扭轉對象，人眼-可視化系統(tǒng)-是固定的。當觀察一個更大的物體時，人會在物體周圍左右移動，以便觀察它。種情況是類似于標準SEM的情況，而后者則反映了LC-SEM的情況。
LC-SEM 配備了定位系統(tǒng)，通過移動電子和探測器以及完整的光學系統(tǒng)可以滿足同角度的視角觀察。裝有一個5＋1旋轉軸系統(tǒng)，并可移動樣品，減少了裝載周期數(shù)。
成像和分析能力
通過裝備的電子，LC-SEM有能力提供高于10nm的分辨率和30的圖像放大能力，加上強大的二次反射電鏡的通道探測器，整個系統(tǒng)通過多個運行系統(tǒng)圖像的質量。阻尼系統(tǒng)可以外部振動影響系統(tǒng)，同時電子和探測器有一個的冷卻循環(huán)系統(tǒng)。
100％的計算機控制
MIRA和它的部件都控制使用Microsoft Windows的軟件。
擴展功能
分析系統(tǒng)
通過分析系統(tǒng)的集成，在腔室的真空環(huán)境下，通過能量發(fā)散X射線光譜儀（EDS）和電子背散射衍射系統(tǒng)（EBSD），LC-SEM擁有生成完整的測試結果的能力。
LC-SEM也可以配置聚焦離子束（FIB）和傅立葉變換紅外光譜儀（FT-IR）實現(xiàn)其擴展功能。
除了研究大樣本，LC–SEM還可應用于在材料的變形行為的原位觀測以及在微系統(tǒng)技術領域生產(chǎn)過程的現(xiàn)場觀測中。
大試樣掃描電鏡也使得它可以執(zhí)行“中斷監(jiān)控”較大的工程部件的實驗。例如，測試高壓泵的高負荷部件摩擦特性，可以通過進行中斷監(jiān)控來研究。這些部件在正常工作一段時期后，可在 LC–SEM 中觀察研究，之后可以再立即工作，從而得到不同階段的摩擦特性。這種監(jiān)測系統(tǒng)的方式將打開一個不同的、廣闊的工程應用領域，使得我們能夠獲得更密切和更詳細的對磨合和破壞過程的了解。
在LC-SEM內的疲勞試驗
為了滿足評估原位變形特性研究的需要，將一個機械液壓疲勞測試框架融入到了腔室中，可以在LC-SEM中執(zhí)行疲勞測試。
在這種聯(lián)合測試中，不能確定材料過載臨界點，而且裂紋也能被觀察和研究，晶體材料的特性能在執(zhí)行疲勞試驗后進行研究，由此顯微鏡轉換成了一個完整的測試設備，能提供完整的測試結果。該系統(tǒng)能使研究人員記錄材料裂紋聚集之前的結構變化，同時能夠觀察微觀結構對初期裂紋擴展的影響。該系統(tǒng)還設計有一個節(jié)點控制機制，允許感興趣的點留在視野當中。本機的優(yōu)異的穩(wěn)定性，能夠疲勞-開裂現(xiàn)象的原位研究。
應用行業(yè)
汽車
航空、航天
軍事與國
文化與考古
半導體和電子元件
醫(yī)藥與生物材料
法
材料科學
應用領域
非破壞性檢測
原位分析
故障分析
研究與開發(fā)
