真空泵是過濾效率，加強脫氣效果的重要過濾配套設備。為保障過濾介質(zhì)不被污染，一般均使用無油隔膜式真空泵，此類泵型是通過橡膠膜片的往返運動形成真空，其真空壓力一般為0.08Mpa左右（單級），過濾速度關鍵是單位時間內(nèi)的排氣量，及真空泵的流量指標，在過濾量大、介質(zhì)粘度高時顆粒堵塞濾膜情況下尤顯突出。真空泵的使用壽命，除取決于正確的使用方法外（如減少無為的連續(xù)開機；溶液抽入泵體等），主要還在于電機功率合理和真空膜的設計形式及疲勞性。
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