KS-420太陽能電池片擴散爐
設備型號：KS-420
設備主要特點：
緊湊型設計
標準單臺四管（三管可選），減少占地面積。
閉管磷擴散
工藝反應過程中，工藝片在石英管內，Sic槳外置，實現真正意義上的閉管擴散。
各種氣體控制流量
數字式MFC的運用，比模擬式的控制，還消除了模擬傳輸的干擾。工藝生產的穩定性。
廢氣收集系統
帶有廢氣定向回收冷卻裝置，收集后統一從后部排出。
氣體噴淋擴散工藝
POCl3，可采用管內噴淋式引入到各反應區域，擴散的均勻性。
送片方式
高定位和穩定的軟著陸裝置。采用伺服馬達驅動滾軸絲桿，運行平穩，無爬行。推舟速度在5-1000mm/min內無級變化。
封門系統
密封的爐門設計，減少爐內熱量的損失，并減少了溫度恢復時間。與裝載區隔離，裝載區無污染，避免操作人員受有毒氣體的損害。
自動壓力平衡裝置
自動閉環壓力控制。實現壓力平衡自動處理。
設備型號：KS-420
設備主要特點：
緊湊型設計
標準單臺四管（三管可選），減少占地面積。
閉管磷擴散
工藝反應過程中，工藝片在石英管內，Sic槳外置，實現真正意義上的閉管擴散。
各種氣體控制流量
數字式MFC的運用，比模擬式的控制，還消除了模擬傳輸的干擾。工藝生產的穩定性。
廢氣收集系統
帶有廢氣定向回收冷卻裝置，收集后統一從后部排出。
氣體噴淋擴散工藝
POCl3，可采用管內噴淋式引入到各反應區域，擴散的均勻性。
送片方式
高定位和穩定的軟著陸裝置。采用伺服馬達驅動滾軸絲桿，運行平穩，無爬行。推舟速度在5-1000mm/min內無級變化。
封門系統
密封的爐門設計，減少爐內熱量的損失，并減少了溫度恢復時間。與裝載區隔離，裝載區無污染，避免操作人員受有毒氣體的損害。
自動壓力平衡裝置
自動閉環壓力控制。實現壓力平衡自動處理。
