又稱三靶大樣品室離子濺射鍍膜儀，EMS 650配套裝有直徑60mm、厚度0.1mm的金靶（用戶可以選擇其它材質(zhì)的靶材）；面板式控制，的人性化設計；濺射參數(shù)可預先設置，包括控制排氣的電磁閥（自動控制），可以獲得的可重復的鍍膜厚度；濺射頭互鎖，EMS 650和EMS 250鍍碳配件通用；EMS 650可控制的真空泵。下圖示EMS 650.EMS 650T是在EMS 650基礎上加裝了一個功率為60L/秒的渦輪增壓泵，能夠獲得更高更潔凈的真空。
　　
　　性能特征：
　　全自動控制
　　冷卻系統(tǒng)（（功率是6W）
　　低電壓濺射（100V，DC；每分鐘溫度升高不到2°C）
　　鍍膜厚度（2nm金粒）
　　的可重復性
　　鍍膜厚度20nm或200A（掃描電鏡）
　　微電子控制
　　三個靶臺同時濺射
　　聚碳酸脂外殼
　　
　　儀器參數(shù)：
　　
　　儀器尺寸：450mm（W）x 350mm（D）x 175mm（H）
　　工作腔室硼硅酸鹽玻璃：225mm（Dia.）x 125mm（H）
　　重量：24Kg
　　靶臺：3 x 60mm Dia.x0.1mm 厚
　　旋轉樣品臺：155mm Dia.距離靶臺40 to 50mm可調(diào)
　　真空范圍：ATM＆shy；1x10-2 mbar
　　鍍膜電流范圍：0-100mA
　　鍍膜速率：0-20nm/minute
　　濺射鍍膜時間：0-4 minutes
　　電源：230 volts 50Hz（8 AMP 包括泵）
　　維護：氬氣＆shy；通常 4 psi
　　真空泵（推薦）整套真空泵軟管和油氣過濾器135L/Min