產(chǎn)品概況：北京東方華測(cè)科學(xué)技術(shù)中心-專門針對(duì)硅片制造業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)-設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)出比的XHC-SV1型數(shù)碼正置金相顯微鏡。選用優(yōu)質(zhì)的光學(xué)元件，配有視場(chǎng)目鏡、透反射照明器、平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡、可選用微分干涉（DIC）觀測(cè)；高清晰圖像，襯度好。是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開(kāi)發(fā)的，作為工業(yè)顯微鏡使用?？蛇M(jìn)行明暗場(chǎng)觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測(cè)分析。

　　1.采用了UICS高分辨率、長(zhǎng)工作距離無(wú)限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)。
　　2.拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù)，無(wú)限遠(yuǎn)物鏡與觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法，并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量。
　　3.采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度。
　　4.WF10X（Φ25）視野目鏡，長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)金相物鏡。
　　5.可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器。
　　
　　技術(shù)規(guī)格：
　　數(shù)碼金相顯微鏡型號(hào) XHC-SV1
　　光學(xué)系統(tǒng) UICS 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)
　　光路設(shè)計(jì)透、反射光路設(shè)計(jì)
　　觀測(cè)方式明/暗場(chǎng)觀測(cè)、偏光觀測(cè)、微分干涉（DIC）觀測(cè)
　　觀察頭鉸鏈?zhǔn)饺浚?0度傾斜，50mm-76mm
　　放大倍數(shù) 50X-1000X（可擴(kuò)展至2000X）
　　目鏡寬場(chǎng)、視場(chǎng)目鏡10×視場(chǎng)直徑￠25mm
　　物鏡平場(chǎng)、無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離、明暗場(chǎng)金相物鏡：（標(biāo)配四個(gè)）
　　5×/0.1B.D/W.D.29.4mm 10×/0.25B.D/W.D.16mm
　　20×/0..D/W.D.10.6mm 40×/0.6B.D/W.D.5.4mm
　　50×/0.55B.D/W.D.5.1mm 80×/0.75B.D/W.D.4mm
　　100×/0.80B.D/W.D.3mm
　　轉(zhuǎn)換器帶微分干涉（DIC）插口的四孔轉(zhuǎn)換器
　　偏光裝置檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
　　濾光裝置插板式濾（綠、藍(lán)、中性）
　　聚光鏡 NA1.25阿貝聚光鏡帶可變光欄和濾
　　數(shù)碼系統(tǒng) 300萬(wàn)像素彩色CCD系統(tǒng)，實(shí)時(shí)視頻輸出、數(shù)碼拍照、各種圖像處理功能
　　圖像軟件可實(shí)現(xiàn)對(duì)顯微圖像的線寬、線距、角度、兩點(diǎn)間距離、圓、平行線間距離、任意曲線長(zhǎng)度任意多邊形等的幾何尺寸測(cè)量?？蛇_(dá)&plun;1μm.可拍攝數(shù)碼照片進(jìn)行分析、存儲(chǔ)、研究等
　　調(diào)焦系統(tǒng)具有粗、微調(diào)同軸調(diào)節(jié)，行程40mm，微動(dòng)格值0.002mm
　　載物臺(tái)二維移動(dòng)載物臺(tái)，低位同軸手作 X、Y移動(dòng)范圍：81mm×52mm；平臺(tái)尺寸：190mm×162mm
　　照明系統(tǒng)落射照明：帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄，鹵素?zé)?2V/50W，AC85V-230V，亮度可調(diào)節(jié)
　　照明：鹵素?zé)?2V/50W，AC85V-230V，亮度可調(diào)節(jié)
　　
　　主要用途：
　　XHC-SV1型數(shù)碼正置金相顯微鏡作為工業(yè)顯微鏡可進(jìn)行明暗場(chǎng)觀察、透反射、偏光、DIC觀測(cè)，廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池片、硅片制造業(yè)、半導(dǎo)體晶圓制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)；還應(yīng)用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校等。

其他說(shuō)明

數(shù)碼金相顯微鏡型號(hào)	XHC-SV1
光學(xué)系統(tǒng)	UICS 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)
光路設(shè)計(jì)	透,反射光路設(shè)計(jì)
觀測(cè)方式	明/暗場(chǎng)觀測(cè),偏光觀測(cè),微分干涉(DIC)觀測(cè)
觀察頭	鉸鏈?zhǔn)饺?30度傾斜,50mm-76mm
放大倍數(shù)	50X-1000X(可擴(kuò)展至2000X)
目鏡	寬場(chǎng),視場(chǎng)目鏡10* 視場(chǎng)直徑￠25mm
物鏡	平場(chǎng),無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離,明暗場(chǎng)金相物鏡:(標(biāo)配四個(gè))               5* /0.1B. D/W. D. 29.4mm               10* /0.25B. D/W. D. 16mm               20* /0.. D/W. D. 10.6mm              40* /0.6B. D/W. D. 5.4mm               50* /0.55B. D/W. D. 5.1mm              80* /0.75B. D/W. D. 4mm               100* /0.80B. D/W. D. 3mm
轉(zhuǎn)換器	帶微分干涉(DIC)插口的四孔轉(zhuǎn)換器
偏光裝置	檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動(dòng),起偏鏡,檢偏鏡均可移出光路
濾光裝置	插板式濾(綠,藍(lán),中性)
聚光鏡	NA1.25阿貝聚光鏡帶可變光欄和濾
數(shù)碼系統(tǒng)	300萬(wàn)像素彩色CCD系統(tǒng),實(shí)時(shí)視頻輸出,數(shù)碼拍照,各種圖像處理功能
圖像軟件	可實(shí)現(xiàn)對(duì)顯微圖像的線寬,線距,角度,兩點(diǎn)間距離,圓,平行線間距離,任意曲線長(zhǎng)度任意多邊形等的幾何尺寸測(cè)量.可達(dá)&plun; 1μ m. 可拍攝數(shù)碼照片進(jìn)行分析,存儲(chǔ),研究等
調(diào)焦系統(tǒng)	具有粗,微調(diào)同軸調(diào)節(jié),行程40mm,微動(dòng)格值0.002mm
載物臺(tái)	二維移動(dòng)載物臺(tái),低位同軸手作 X,Y移動(dòng)范圍:81mm* 52mm;平臺(tái)尺寸:190mm* 162mm
照明系統(tǒng)	落射照明: 帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄,鹵素?zé)?2V/50W,AC85V-230V, 亮度可調(diào)節(jié)               照明: 鹵素?zé)?2V/50W, AC85V-230V, 亮度可調(diào)節(jié)