光刻機（URE-2000/17）

　　URE-2000／17型光刻機
　　技術特征：
　　采用多反射鏡實現均勻照明；
　　采用球氣浮找平，調平高；
　　率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程，并提供U輸出；既滿足高對準，又可用于檢測曝光結果，且曝光結果和方便存儲；
　　曝光波長采用純凈365nm，冷光照明（曝光面能量5mW／cm，溫度小于35度）；
　　手動上下版、樣片，手動調平；手動分離間隙。
　　快門可以單獨開啟，也可以數字設定自動曝光（設定范圍0.1s-9999s）；
　　采用200W（德國）直流汞燈，可調節光的能量密度；
　　設備外形美觀精制，性能；
　　
　　1、技術參數
　　曝光面積：100mm
　　分辨力：1.7mm（膠厚2　mm的正膠）
　　對準：&plun;1mm
　　掩模樣片整體運動范圍：X：6mm；Y：6mm
　　掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
　　樣片尺寸：直徑f15mm--f100mm
　　厚度0.1mm--6mm（可擴展為15mm）
　　照明均勻性：&plun;5％（100mm范圍）
　　掩模相對于樣片運動行程：X：&plun;5mm；Y：&plun;5mm；q：&plun;6度
　　汞燈功率：200W（直流）
　　曝光波長：365nm
　　曝光能量密度：6mW／cm（420nm以上波長小于0.2mW／cm）
　　曝光方式：定時（到計時方式）
　　
　　2、外形尺寸：650mm（長），600mm（寬），900mm（高）
　　
　　3、配置
　?。?）曝光頭
　　200W直流高壓汞燈（德國歐司朗）
　　XYZ汞燈調節臺
　　光學系統
　　冷卻風扇
　　（2）對準工件臺
　　•掩模樣片整體運動臺
　　•掩模樣片相對運動臺
　　•轉動臺
　　•樣片調平機構，自動完成
　　•樣片調焦機構，氣缸自動調
　　•承片臺3個（ø50mm、ø75mm、ø100mm），掩模夾3個（3寸、4寸、5寸）
　　•掩模抽拉式上下機構
　?。?）對準顯微鏡
　　•光源、電源
　　•雙目雙視場對準顯微鏡主體
　　•目鏡3對（10倍、16倍、25倍，共6個）
　　•物鏡3對（5倍、10倍、15倍，共6個）
　　•CCD（臺灣）
　　•19寸液晶顯示器
　?。?）電控系統
　　•汞燈觸發電源（500W直流汞燈）
　　•單片機控制系統
　　•控制機箱
　?。?）氣動系統
　　•氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
　　•電磁閥驅動
　　•氣動儀表
　?。?）其他附件
　　•真空泵一臺
　　•管道。