TMFC30A質量流量控制器

　??？高度的低流量
　　？快速響應（≦1.0）
　?。繉拤毫Ψ秶?300　psig）以下
　??？無泄漏
　　？沒有所需溫度或壓力
　??？連接相容
　?。扛叻€定的移動傳感器
　??？耐腐蝕性價值
　??？優異的線性度
　??？優異的長期穩定性
　?。磕K化設計
　??？緊湊的流量控制系統
　　型號
　　TMFC30V
　　TMFC30A
　　TMFC50V
　　TMFC50A
　　
　　流量范圍（N2）
　　10sccm~30SLM
　　10sccm~30SLM
　　10scc~50SLM
　　10scc~50SLM
　　
　　反應速度
　　≦1.0　sec
　　
　　
　　±1.0%FS
　　
　　重復
　　±0.25%FS
　　
　　耐壓
　　1300　PSIG
　　
　　泄漏率
　　1　x　10-9　atm.cc/sec　or　less
　　
　　操作溫度
　　0~50℃
　　
　　配件材質
　　本體：SUS316
　　
　　閥體墊片：Vition？（Option　Bura？or　Kalrez？or　Teflon？）
　　
　　接續方式
　　標準：1/4　compression
　　
　　選購：1/8　compression，1/4　VCR？，3/8　Compression，VCR？
　　
　　電氣接線
　　Dsub　15-pin　公接頭單出線
　　
　　流量訊號輸入
　　0~5　Vdc
　　4~20mA
　　0~5　Vdc
　　4~20mA
　　
　　流量訊號輸出
　　0~5　Vdc
　　4~20mA
　　0~5　Vdc
　　4~20mA
　　
　　供應電壓
　?。?5~28　Vdc/350mA