技術參數
材料(標準):光譜純石英/304L不銹鋼/可伐
材料(非磁性):光譜純石英/316N不銹鋼/鉭
密封:低溫釬焊
20時壓強:ar(單向)
溫度:200
范圍:0.19-2μm
漏率:<1×10-10ATM?cc/sec(He)
壓力:<1×10-11Torr
表面品質:20/10scratch/dig
可根據需要更好的scratch/dig
平面度:<8
可根據需要更好的平面度,但增加的厚度會影響廣的。
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