氫氣和氬氣經氣體預熱爐預熱（單獨預熱，預熱溫度均為560℃）后，氬氣進入NbCl5氣化罐內（圖2），載帶NbCl5蒸汽，在閥門V6的后端與氫氣混合，混合后進入沉積室下端，經過氣體分布板，進入沉積室內部（圖2），沉積室直徑約為100mm.氫氣的量很大，能夠將沉積室內的UO2球流化（氫氣可以將UO2球像沙子樣吹起來，在沉積室內翻騰），進入沉積室內的NbCl5蒸汽與氫氣反應。UO2球裝載量為2-3kg，粒度為0.1mm，反應溫度為800-900度。反應產生的金屬鈮沉積在UO2球表面上（因此反應溫度等于沉積溫度），反應產物經尾氣噴淋洗滌塔吸收后排出。
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