電渦流傳感器SMT9700應(yīng)用于壓電陶瓷位移，適合于納秒激光微加工的壓電陶瓷微位移平臺(tái)。

　　測(cè)量壓電陶瓷位移傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域有：原子顯微鏡垂直軸定位、光學(xué)平臺(tái)位置測(cè)量、半導(dǎo)體和光器件的研磨、半導(dǎo)體模板對(duì)齊系統(tǒng)、蒸鍍系統(tǒng)、電子顯微鏡垂直軸定位、磁懸浮軸控制、部件研磨加工的定位、鏡片控制、物質(zhì)收縮測(cè)試測(cè)量、機(jī)械結(jié)構(gòu)變形探測(cè)與測(cè)試。
　　
　　SMT是一款專門為客戶定制的OEM電渦流傳感器產(chǎn)品，可測(cè)非導(dǎo)磁體和鐵磁材料，有1、2或3通道可配電渦流探頭。測(cè)量壓電陶瓷位移的電渦流傳感器材料、線性、分辨率、帶寬各種性能可自行優(yōu)化，納米級(jí)分辨率，合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)，尺寸小巧，可配13種電渦流探頭。
　　
　　電渦流傳感器主要特點(diǎn)：
　　供電電壓：15～30V，<50mA（有容錯(cuò)保護(hù)、短路保護(hù)）
　　工作溫度：0～70ºC（補(bǔ)償范圍15～55ºC）
　　有1、2或3通道可配電渦流探頭
　　埃米級(jí)分辨率
　　尺寸小巧
　　可配13種電渦流探頭
　　合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)
　　輸出負(fù)載電流<20mA（有短路和過(guò)載保護(hù)）。