型號:VMC222 VMC322 VM32 VMC542
行程(mm)200×200×200 300×200×200 400×300×200 500×400×200
外部尺寸(mm)1040×740×1620、1040×740×1620、1240×800×1620、1440×1000×1620
重量(kg)240 250 310 400
承重(kg)25 25 25 25
測量 XY軸*E2=(2.5+L/200)μm E2=(3.0+L/200)μm
Z軸**E1=(5.0+L/200)μm
速度 XY軸 200mm/S
Z軸 100mm/S
光柵尺 1.0μm分辨率
CCD 1/2"CCD 黑白/彩色
光源輪廓光 LED冷光源,256級亮度可調
表面光 6環8區LED冷光源,各段操控,256級亮度可調
同軸光可選配,參數同輪廓光
光學系統***6.5:1可變倍,放大倍率29~163或58~326
軟件 Vispec測量軟件(VMC版)
運動控制自主的CNC直流伺服系統
保修期 1年
工作環境溫度20℃±2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度30~80%
振動<0.002g,低于15Hz
電源 220V/50Hz/10A




