PSP.3A.20RN.01B型三維探針臺是PSP.6A.12RN.01A型三維探針臺的升級版本，采用比HDS-MLF更高、控制效果更好的HDS-HF1系列大推力馬達進行驅(qū)動。具備更穩(wěn)定的性能及更為優(yōu)異的性，是實驗室及生產(chǎn)檢測環(huán)節(jié)高運動檢測的選擇。
　　該產(chǎn)品除用于高的各種電學(xué)性能檢測外，更可以與其它可選配件搭配組合成光學(xué)耦合或光纖對接用平臺。
　　
　　應(yīng)用領(lǐng)域：
　　根據(jù)測試樣品分類  根據(jù)應(yīng)用分類
　　晶圓測試  射頻測試
　　LED測試  高溫環(huán)境測試
　　功率器件測試  低溫真空測試
　　MEMS測試  低電流（fA）測試
　　PCB測試  I-v/c-v/p-iv測試
　　液晶面板測試  高壓，大電流測試
　　太陽能電池片測試  氣體環(huán)境測試
　　材料表面電阻測試  強磁環(huán)境測試
　　納米器件測試  輻射環(huán)境測試
　　
　　PSP.3A.20RN.01B規(guī)格參數(shù)
　　行程（單軸行程）  20mm（X軸＆Y軸＆Z軸）
　　馬達  HDS-HF1
　　小步長  0.1um（開環(huán)系統(tǒng)）
　　速度  200mm/s
　　負載  50g
　　控制方式  標(biāo)準(zhǔn)品自帶HDS控制驅(qū)動一體機，配三軸霍爾操縱桿
　　導(dǎo)軌類型  IKO直線滾珠導(dǎo)軌
　　結(jié)構(gòu)材質(zhì)  鋁合金6061-T6（不銹鋼可選）
　　裝配質(zhì)量  200g
　　標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品為一套三維探針臺，一臺HDS控制驅(qū)動一體機及一個的三軸霍爾操縱桿，如前頁圖片所示。
　　可選配件：
　　15、  光柵閉環(huán)系統(tǒng)
　　16、  不同規(guī)格探針
　　17、  壓電精密XY軸樣品載物臺或手動XY樣品載物臺
　　18、  不同規(guī)格顯微觀察系統(tǒng)及顯微鏡萬向連接裝置
　　19、  可定制不同規(guī)格尺寸安裝底座及連接底板
　　20、  真空吸附型卡盤（不銹鋼、黃銅材質(zhì)可選）
　　21、  積分球夾具
　　22、  視頻CCD系統(tǒng)
　　23、  封裝器件夾具
　　24、  PCB板夾具
　　25、  樣品加熱系統(tǒng)
　　26、  光學(xué)隔振平臺
　　27、  屏蔽箱
　　28、  強磁場及高真空度使用請直接咨詢廠商以獲得更加詳細的信息
　　
　　使用環(huán)境：
　　實驗室、室、真空環(huán)境使用（具體細節(jié)請咨詢廠商）
　　環(huán)境溫度：0–50°C
　　保存溫度：-40°C-＋70°C
　　濕度：0–80%無結(jié)露