-微裂紋
-針孔
-雜質
-污垢
在制作電池片以前,須對晶片進行檢測分級,穩定的識別缺陷。
右圖的樣品顯示的微裂紋,由于機械拉伸引起。這類缺陷嚴重,因為裂紋就在潛的斷裂點。
樣品:晶片的微裂紋
Op-tection晶片檢測的在線和離線解決方案
晶片檢測系統依據太陽能光伏工業需求進行設計,可集成到生產線上
實現在線檢測,也可構建離線式檢測系統對一批晶片的缺陷進行檢測。
這兩種情況需要生產線停頓,都可在生產運轉中實現測試。為了提供、穩定的檢測結果,利用高分辨率的行掃描攝像頭,利用增強型近紅外光譜,并配備近紅外光學優化透鏡,利用LED光源(避免鹵素光源照明的缺點),獲取穩定、高分辨率圖象,實現檢測。
強大功能的缺陷分析處理軟件,包括信息預處理,濾波算法,以及的圖象數據分析處理算法分辨出灰度圖象近似的晶格和微裂紋。避免良品誤判,也避免缺陷晶片混入到下一步工藝—電池片的生產中。增加良率,的質量控制,降低了成本,從而實現了生產效率的。
用戶界面顯示了實際的檢測狀態,包括測試結果的統計。圖象和測試參數都可存儲在PC的數據中,通過網絡可訪問數據庫,并可實現進一步的檢查和統計分析。
晶片檢測系統在線檢測方案
規格
晶片規格 5〞~6〞/100um~250um厚度
數據采集<=1s(圖象記錄時間)
測試節拍<=1.2 s(連續兩片晶圓間的間隔)
測試周期<=2s(從開始檢測到檢測結果顯示)
缺陷類型微裂紋,大裂紋,針孔,雜質
光學裝置
攝像頭高分辨率線陣攝像頭,4096象素
分辨率 40um/象素
照明 LED條形光源(近紅外光)
透鏡高分辨率透鏡
電子設備
-PC 19〞工業PC,WinXP操作系統,19〞顯示器
-UPS電源 PC和攝像頭使用不間斷電源(UPS)
接口數字I/0接口,24V光耦合信號
網絡 10/100/1000 Mbit,RJ 45連接頭
電源 115~230VAC/50-60Hz/<1200W
尺寸
測量傳感器部分 400mm×500mm×500mm(寬長高),或采用客戶定制尺寸
照明部分 400 mm×400mm×200mm(寬長高),或采用客戶定制尺寸。







