?。叫衅骄且怨獠ǜ缮嬖頌榛A，利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。
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?。叫衅骄в糜跈z定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規和千分尺卡規等量具測量面的平面度和兩相對測量的平行度。平行平晶共分四個系列，每個系列各分六組，每組四塊。
產品名稱平行平晶
功能：平行平晶用于干涉法測量千分尺、卡規和千分表等測量面平面度、平面平行度。
產品規格：
每組平行平晶共四塊，分四個尺寸系列組
測量范圍：組I系列：0〜25mm
組II系列：25〜50mm
組III系列：50〜75mm
組IV系列：75〜100mm
測量面上平面度偏差＜0.1μm
平面度局部偏差＞0.03μm
測量面平行度誤差：組I系列允差值：0.06μm
組II，III系列允差值：0.08μm
組IV系列允差值：0.1μm
平晶直徑φ30mm，φ40mm，φ40mm，φ50mm
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產品名稱平行平晶
功能：平行平晶用于干涉法測量千分尺、卡規和千分表等測量面平面度、平面平行度。
產品規格：
每組平行平晶共四塊，分四個尺寸系列組
測量范圍：組I系列：0〜25mm
組II系列：25〜50mm
組III系列：50〜75mm
組IV系列：75〜100mm
測量面上平面度偏差＜0.1μm
平面度局部偏差＞0.03μm
測量面平行度誤差：組I系列允差值：0.06μm
組II，III系列允差值：0.08μm
組IV系列允差值：0.1μm
平晶直徑φ30mm，φ40mm，φ40mm，φ50mm
其他說明
| 組號 | 0-25 | 25-50 | 50-75 | 75-100 |
| 1 | 15.00,15.12 15.25,15.39 | 40.00,40.12 40.25,40.37 | 65.00,65.12 65.25,65.37 | 90.00,90.12 90.25,90.37 |
| 2 | 15.12,15.25 15.37,15.50 | 40.12,40.25 40.37,40.50 | 65.12,65.25 65.37,65.50 | 90.12,90.25 90.37,90.50 |
| 3 | 15.25,15.37 15.50,15.62 | 40.25,40.37 40.50,40.62 | 65.25,65.37 65.50,65.62 | 90.25,90.37 90.50,90.62 |
| 4 | 15.37,15.50 15.62,15.75 | 40.37,40.50 40.62,40.75 | 65.37,65.50 65.62,65.75 | 90.37,90.50 90.62,90.75 |
| 5 | 15.50,15.62 15.75,15.87 | 40.50,40.62 40.75,40.87 | 65.50,65.62 65.75,65.87 | 90.50,90.62 90.75,90.87 |
| 6 | 15.62,15.75 15.87,16.00 | 40.62,40.75 40.87,41.00 | 65.62,65.75 65.87,66.00 | 90.62,90.75 90.87,91.00 |
