SET3/1064/532/355，SFT3：激光調(diào)阻機解決方案

產(chǎn)品特點：

--調(diào)阻高：的激光器提供了TEM00高光束質(zhì)量和細線寬的激光束；四線制測量系統(tǒng)，測量時間為25us；擁有軟件預調(diào)誤差補償功能；

--調(diào)阻速度快：的激光器擁有高的重復頻率，在光斑重疊率的情況下能擁有很度；德國掃描振鏡，掃描速度快；高分步重復機構(gòu)，空氣軸承，移動速度及加速度快；

--性高：整機配置器件均采用原裝配置；采用花崗巖臺座，穩(wěn)定；

--大：擁有溫度實時補償功能；同時具有激光劃片和打標功能；

--運行及維護成本低廉：采用半導體端面泵浦或光纖激光器；使用壽命長，性能穩(wěn)定；電光轉(zhuǎn)換效率高，節(jié)約用電成本；采用風冷系統(tǒng)，無須外置冷卻設備；操作簡單，無須高額培訓成本；

技術(shù)參數(shù)：

--激光器系統(tǒng)：

激光類型：半導體端面泵浦激光器 / 光纖激光器

激光波長：1064/532/355nm

激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)

激光頻率：200Hz-50KHz

典型光斑尺寸：30μm

實際切口取決于材料、光學器件和波長；可根據(jù)需要選配532綠激光或355紫外激光小光斑達12μm

泵浦源使用壽命：20,000—100，000小時

冷卻方式：風冷

對焦方式：計算機程序控制

--激光束定位系統(tǒng)：

激光束運動范圍：75mmX75mm（可選配其他規(guī)格）

點到點運動時間：5ms（典型）

速度：7000mm/s

重復定位：2.5μm

激光束小步進：0.76μm

--圖像系統(tǒng)：

方式：激光同軸

放大倍數(shù)：>100倍

圖像顯示屏：19寸液晶

--測量系統(tǒng)：

激勵方式：電流/電壓激勵

恒流源：0.01μA~100mA計算機程控選擇

恒壓源：0~20V計算機程控選擇（可選其它電壓范圍）

電阻測量方式：四線制加電流測電壓

直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）

調(diào)節(jié)對象發(fā)熱控制：程序可設定

電阻測量：低阻：<0.05%+1%/R  （R<100Ω）     

中阻：<0.05%

高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）

電阻測量范圍：0.01Ω-500MΩ

電阻測量速度：25μs

直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下）

探針板：44針11組四線制（可選其它規(guī)格）

探針板運動：計算機程序控制

--計算機及軟件系統(tǒng)：

工業(yè)控制計算機（雙核），17寸液晶

操作系統(tǒng)：Windows XP

VB平臺開發(fā)的可視化應用軟件，界面友好，大

--分步重復運動系統(tǒng)：

運動XY范圍：290x260mm

運動分辨率：1μm

定位：小于6μm（帶誤差補償）

重復定位：小于3μm   

運動速度：900mm/s

具有溫度補償?shù)裙δ?/span>

--非接觸溫度測量：

溫度測量：0.2℃

調(diào)阻溫度修正：計算機程序控制

--其它技術(shù)指標：

供電電壓：220V AC

整機功耗：小于1000W

應用和市場：主要應用于厚膜、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應用于厚膜混合集成電路、電子元器件、汽車電器、傳感器、科研、片式電阻等行業(yè)。

武漢三工光電設備制造有限公司，集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售一體的化激光生產(chǎn)廠家

聯(lián)系人：曾先生（三工光電電子）

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