Cressington 108Auto全自動離子濺射儀是用于電鏡樣品前處理，制作電的高質量的鍍膜儀系統(tǒng)

主要優(yōu)勢功能：

●自動的換氣與泄氣功能，可以得到一致的膜厚，和的導電噴鍍效果。

●通過低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程，避免樣品表面受損。

●操作容易快捷，可全自動或手動進行噴鍍操作，控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制。

●在自動模式下，可通過兩種方式進行控制鍍膜過程。可通過數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果。

●可配備MTM-10高分辨膜厚監(jiān)控儀（選件）(分辨率0.1nm，-99.9nm到+999.9nm)

●數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響，可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。

●可使用多種金屬靶材：Au， Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd，靶材更換快速方便。

技術規(guī)格：

樣品倉尺寸： 120 x 120mm（高） (4.75 x 4.75")，度不銹鋼結構

樣品臺：可放置12個標準SEM樣品座，高度可在 60mm內調節(jié)

濺鍍優(yōu)點：基于微處理器反饋控制，遠程電流/電壓感應；提供真空聯(lián)鎖裝置，180A，配有過流保護

濺射控制：微處理器控制，互鎖，可調，電流40mA，程序化數(shù)字控制

濺射頭：低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護罩

模擬計量：真空 Atm - 0.01mb  電流: 0 - 200A

厚度監(jiān)測器： MTM-10高厚度監(jiān)測器(選配)

控制方式：自動氣體換氣和泄氣功能，自動處理排序，帶有“暫停”控制的數(shù)字定時器（0－300s），自動放氣

電源：200-240 VAC, 50/60Hz

功率：1000VA (包括鍍碳機和真空系統(tǒng))

氬氣： 純度99.9%，壓力調節(jié)0.5-0.6 bar, 6mm連接軟管