二次離子質譜概述

u  能量的離子打到固體表面會引起表面原子、分子或原子團的二次發射，即離子濺射。濺射的粒子一般以中性為主，其中有一部分帶有正、負電荷，這就是二次離子。利用質量分析器接收分析二次離子就得到二次離子質譜。根據濺射的二次離子信號，可對被轟擊樣品的表面和內部元素及分布特征進行分析。

u  二次離子質譜儀主要用于材料學（半導體、薄層、緣材料等）、地質空間學、天體化學、環境微生物學和細胞學。

u  主要功能：

               質譜分析-表面微區元素組成

               痕量元素深度剖析

               二次離子成像及顯微圖像分布（2＆3D）

               穩定同位素豐度比

               放射性顆粒分析

               地質定年

高分辨率二次離子質譜NanoSIMS 50L

1、專門針對同位素以及痕量元素的高空間分辨率的二次離子探針

2、具有高的橫向分辨率，痕量元素和同位素高靈敏度

- 高空間分辨率（小到50 nm）

- 高靈敏度 （元素分布圖像ppm）

- 高質量分辨率（M/dM）

- 快速數據接收（DC mode, 非脈沖模式）

- 可分析緣樣品

- 同位素分析可達點幾

3、可同時探測5-7種離子

4、探測器可選電子器（成分圖像），也可選法拉第杯（高同位素豐度比測量）

高分辨率二次離子質譜應用領域

微生物學：

The NanoSIMS 50L 開啟了一條新路徑，能夠將系統進化識別（phylogenetic identity，with H orEl-H）與單細胞的功能結合起來（usingstable isoe labeling) 以便研究環境對微生物群體的影響。

N. Musat, MPI Bremen, Germany.

 細胞生物學：

因具有的50nm分辨率以及能夠測同位素比的能力，NanoSIMS50L 能夠針對單個細胞，對那些做了同位素標識的分子在這個個細胞內部聚集和流動情況進行測量。

C. Lechene and D.P. Corey, Harvard MedicalSchool & Brigham Women's Hospital, USA.

 地質和空間科學：

NanoSIMS 50L可以深入亞微米（sub-micron）區域，針對對來自于行星間的塵埃粒子、隕石以及礦物截面內部的小粒子或夾雜，測定元素和同位素。在使用多個法拉第杯以及幾個微米大小束斑的配置下，所給出的同位素比的以及外部重復性均小到點幾。J. Moreau et al., SCIENCE.

 材料研究：

歸功于高質量分辨率下的高靈敏度（沒有質量干擾），NanoSIMS 50L 能夠以50nm的橫向分辨率對痕量元素（摻雜）做元素分布圖和定量測量，包括電緣材料。