上海方易電氣有限公司
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Veratus讀數頭、Veratus光柵、Celera光柵、MicroE光柵
1、 分辨率1μm～20nm
2、 低的電子細分誤差（小于20nmRMS）
3、 讀數頭規格：10.2mm(高)x13.5mm(寬)x35mm(長)；重量：15g
4、 模擬量輸出；A-quad-B數字信號輸出；報警信號
5、 速度可達5m/s
6、 柵距20μm
7、 線性：標準±3～±5μm；高±1μm
8、 重復性≦1L
9、 光刻位信號
10、 LED狀態指示燈用于傳感器對準和位定位
