Sensofar S neox 3D光學輪廓儀

共聚焦白光干涉輪廓儀

S neox 3D光學輪廓儀是一款高精度的非接觸式3D光學輪廓儀，它將共聚焦、干涉和多焦面疊加等多種測量技術集于一身。該系統能夠對樣品表面的高度、粗糙度、體積和薄膜厚度等參數進行快速、菁確的測量與表征，廣泛應用于研發和質量控制領域。

新型 S neox 在性能、功能、效率和設計方面優于現有的 3D光學輪廓儀，是Sensofar 的新一代高端測量系統。

易于使用

Sensofar 致力于為客戶提供操作簡單方便和良好的使用體驗。隨著第五代 S neox 系統的誕生，我們的目標是使其易于使用、直觀且更快速。即使是初學者，只需點擊一下，即可操作測量。模塊化設計的軟件，使系統適應用戶多樣的需求。

驚人的測量速度

通過采用新的智能和獨特的算法以及新型相機，達到驚人的測量速度。數據采集速度達 180 fps。標準測量采集速度比以前快 5 倍。S neox 成為市場上速度比較快的表面測量系統。

應用領域：

先進制造業

航空航天與汽車行業

考古學與古生物學

消費類電子產品

光學器材

精密加工

功能靈活多樣

質量管理

豐富的自動化模塊，方便進行質量管控。從操作員訪問權限控制、測量程序存儲、兼容性到條形碼/QR 讀取器，以及我們專有SensoPRO 軟件中的定制插件，都可以自動生成分析報告。我們的優化解決方案能夠在 QC 環境中工作， 其具有靈活性和易于使用的界面， 可編程并24小時工作。

研發

Sensofar 的三合一方法—只需點擊一次，系統即可切換到適合當前測量任務的掃描模式。在 S neox 傳感器頭中配置三種測量技術：共聚焦、干涉、Ai 多焦面疊加，這些都為系統的多功能性做出了重要貢獻，并有助于非常有效地減少數據采集中的噪點。S neox 是實驗室環境的理想之選，適用范圍廣泛，適合粗糙，到光滑及超光滑表面3D測量。

四合一技術

Ai 多焦面疊加NEW

主動照明多焦面疊加是一種為了測量大粗糙表面形狀而開發的光學技術。這項技術基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測量領域的廣泛專業知識，專門設計用于補充低放大率下的測量。通過使用主動照明，即使在光學平滑的表面上也能獲得更可靠的測量數據，這一點已經得到了改進。該技術的亮點包括高斜率表面(高達 86o),更快的速度(mm/s）和較大的垂直范圍測量。

共聚焦

共聚焦輪廓儀的開發目的是，測量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦輪廓提供更佳的橫向分辨率，可達 0.14μm 水平分辨率，空間采樣可減少到 0.01μm，這是關鍵尺寸測量的理想選擇。高達NA (0.95) 和放大倍率(150X) 的物鏡可用于測量局部斜率超過 70°的光滑表面。對于粗糙表面，可允許 86°。研發的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復性。

干涉

光學干涉是利用參考鏡和樣本上產生的兩束反射光在零光程差時產生干涉的現象來生成三維干涉圖樣（干涉圖），包含樣本表面形貌上的信息。該方式的各種變化可用于具體不同的應用。

薄膜

薄膜測量技術快速、準確、無損地測量光學透明層的厚度，且不需要樣品制備。該系統獲取可見光范圍內樣品的反射光譜，并與軟件計算的模擬光譜進行比較，準確地找到匹配的厚度。可以在不到一秒鐘的時間內測量出 50nm 到 1.5μm 的透明膜。測量光斑取決于物鏡放大率，范圍從0.5μm到40μm。